CVD气相沉积
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  • PECVD石墨烯薄膜制备系... PECVD石墨烯薄膜制备系统借助13.56MHz的射频输出等使含有薄膜组成原子的气体电离,在真空腔体内形成等离子体,利用...
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  • CVD气相沉积 本CVD气相沉积系统带水冷法兰双路流量计并配有双极旋片泵、水冷机、数字真空计且该CVD气相沉积系统可抽真空、通气氛用于各...
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