产品详情
  • 产品名称:单靶等离子镀膜仪

  • 产品型号:1100X-SPC-1
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
此款单靶等离子溅射镀膜仪为我公司研发的一款紧凑型的等离子溅射仪,可以对样品进行Au、Pt,In,Ag等多种金属的溅射镀膜。该单靶等离子溅射镀膜仪样品台直径为50mm,镀膜厚度可达300埃米,多用于SEM样品的镀膜。
详情介绍:

 产品介绍

此款单靶等离子溅射镀膜仪为我公司研发的一款紧凑型的等离子溅射仪,可以对样品进行Au、Pt,In,Ag等多种金属的溅射镀膜。该单靶等离子溅射镀膜仪样品台直径为50mm,镀膜厚度可达300埃米,多用于SEM样品的镀膜。 

 

适用范围

多用于SEM样品的镀膜


 产品特点

1:设有真空表,溅射电流表,可以实时监控工作状态。 

2:通过调节溅射电流控制器和微型真空气阀,可以控制真空室的压强,电离电流从而获得良好的镀膜效果 

3:镀膜腔体边缘的橡胶密封圈采用了特殊设计,保证镀膜仪可以长期使用而不出现崩边现象 

4:采用了比通常的橡胶密封更经久耐用的陶瓷密封高压电极接头 

5:根据电场中气体的电离特性,此款镀膜仪采用大容量溅射真空室和相应面积的溅射靶,使得镀膜更加均匀纯净 

 

技术参数

电源 

220V 

功率 

<2000W(包含真空泵) 

真空室尺寸 

Φ160×120mm 

样品台尺寸 

Φ50mm(高度可调,可同时对8个SEM样品进行镀膜) 

镀膜尺寸 

Φ45mm 

产品规格 

400×300×400mm 

产品重量 

30Kg 

产品配件 

进气针阀1个,保险丝2个 

产品包装 

三合板木质包装 

 

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