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如何对真空镀膜设备进行全方面的维护

日期:2019-10-18 18:49
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摘要: 真空镀膜设备不间断使用十二个月以上,里面的抽速就会变慢,这就要及时的做清洗工作,那么如何对真空镀膜设备进行全方面的维护呢?成越科仪推荐的以下方法大家可要记住了! 首先充入大气,拆去联结水管,卸去电炉盘和喷嘴,泵腔及泵胆分三次清洗,先用汽油将清洗一遍,再用洗衣粉清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净。 等到晒干之后,重新加入泵油,装好泵胆,并装回机体,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进...
       真空镀膜设备不间断使用十二个月以上,里面的抽速就会变慢,这就要及时的做清洗工作,那么如何对真空镀膜设备进行全方面的维护呢?成越科仪推荐的以下方法大家可要记住了!

       首先充入大气,拆去联结水管,卸去电炉盘和喷嘴,泵腔及泵胆分三次清洗,先用汽油将清洗一遍,再用洗衣粉清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净。

       等到晒干之后,重新加入泵油,装好泵胆,并装回机体,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。

       真空镀膜设备每完成二百个镀膜程序以上,应清洁工作室一次,镀膜设备厂家表明用烧碱饱和溶液反复擦洗真空室内壁,注意安全不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤,目的是使镀上去的膜料铝与烧碱发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气,再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。

      真空镀膜设备里面的粗抽泵连续工作三十天就要换新油,将泵内的旧油全部排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量。