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蒸发镀膜仪的作用与功能特点
日期：2024-05-03 15:31
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摘要：
蒸发镀膜仪是一款高真空的蒸发镀膜仪，特别适合蒸镀对氧较敏感的金属膜（如Ti、Al、Au等），也可蒸镀各种氧化物材料。本机设有4个蒸镀加热舟，且每个蒸镀舟都带有挡板。若更改部分配置也可实现对有机材料的蒸发镀膜，可满足发光器件及有机太阳能电池方面的研究要求，是一款镀膜效果理想且性价较高的实验设备。
蒸发镀膜仪功能特点：
真空控制单元全部集合在一个控制盒内。
采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。
真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，方便快速取放样品，提高效率）、1个CF150闸板, 阀（直接与分子泵相连）、1个KF16法兰（安装电阻规）、5个CF35法兰（1个安装电离规，4个备用，便于,安装其他设备）。
在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。
4个蒸镀加热舟上方配有独立的可移动挡板，有效地避免蒸发时相互污染。
样品台安装在腔体的顶部。
腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，精度为10Å。
可使用循环水冷机。