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○ 产品介绍
TN-3F是一种紧凑型三通道防腐气体混合输送系统,可与管式炉一起放入小型通风柜中,更**。 所有用气体润湿的部件都是由PTFE(例如阀门,管道,混合罐和流量计)制成的。 它设计用于输送腐蚀性气体,如硫化氢(H2S)和硒化氢(H2Se),用于CVD处理。
○ 适用范围
1.半导体制造业
2.真空镀膜设备
3.特殊材料表面处理
4.燃气控制
5.泄漏检测系统
6.环境检测和分析设备
7.化学,石化,冶金,光纤等
○ 技术参数
Model No.型号
TN-3
Flow meter type流量计类型
float flow control浮球流量控制
Flow meter pipe core material流量计管心材质
304 stainless steel304不锈钢
Value type 值类型
electromagnetic regulating value 电磁调节值
Pipeline normal condition管道正常状态
close关闭
Gas way 气路
3gas way 3气路
Connector size 连接器尺寸
1/4'
Pressure range 压力范围
-0.1-0.15Mpa
A way range A 路范围
10-100ml
B way range B 路范围
16-160ml
flow control range 流量控制范围
2%-100%
Working temperature 工作温度
15-50℃
Working Power 工作电源
AC 220V 50-60Hz
C way range C 路范围
25 - 250mL
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