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  • 产品名称：泰诺3路质子流量计

  • 产品型号：TN-3Z
  • 产品厂商：泰诺
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简单介绍：
3路质子流量计:1.选择多种气体方式；2.304不锈钢管芯，耐腐蚀；3.不锈钢双卡快速接头，连接方便，无泄漏。
详情介绍：
○ 产品介绍
1.选择多种气体方式；2.304不锈钢管芯，耐腐蚀；3.不锈钢双卡快速接头，连接方便，无泄漏。


○ 3路质子流量计的应用
1.半导体制造业
2.真空镀膜设备
3.特殊材料表面处理
4.燃气控制
5.泄漏检测系统
6.环境检测分析设备
7.化学，石化，冶金，光纤等

 
○ 3路质子流量计的特点
1.选择多种气体方式
2.304不锈钢管芯，耐腐蚀

3.不锈钢双卡快速接头，连接方便，无泄漏


○ 技术参数

功能

三路质量流量计

质子流量控制器

工作温度：5~45 ºC
较大压力: 3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
重复精度: ±0.2%F.S.
流量范围:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范围的可定制，需额外费用

输入电源

AC 220V/50Hz单相

功率

150W

机械压力表

有一机械压力表安装于前面板上，与混气罐相连接

量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)

针阀

316 不锈钢

通气管道

内部连接管道为1/4”不锈钢管 

外部通气管道为1/4”聚四氟管 

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

316不锈钢针阀 

Φ1/4” 不锈钢管

外形尺寸

600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)

质量认证

CE认证

质保期

一年质保期，终身维护

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