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产品详情
简单介绍:
两工位净化型匀胶机带有100级空气净化装置,可有效除去匀胶台周围空气中的污染微尘,防止匀胶过程中的杂质污染。两工位净化型匀胶机可分别独立工作,也可两台同时工作
详情介绍:
纯净型匀胶机带有100级空气净化装置,可有效除去匀胶台周围空气中的污染微尘,防止匀胶过程中的杂质污染广泛用于半导体硅片的匀胶镀膜等,例如对大型晶圆、芯片、晶片等进行工艺制版时,可用此设备进行各种胶体的表面涂覆或光刻工艺匀胶;是集成电路及半导体器件生产过程中涂覆匀胶的专用设备 。该设备中涂胶部分含有两个工位的匀胶台,可分别独立工作,也可两台同时工作。
净化型匀胶机技术参数:
名称 |
纯净型匀胶机 |
特点 |
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技术参数 |
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规格 |
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