产品名称：旋转涂膜机/精密匀胶机

○ 产品介绍

旋转涂膜机/精密匀胶机共有两种型号：CY-AC200-SE是标准型号，CY-AC200-PE是升级型号；CY-AC200精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，这是一种程控伺服型精密匀胶机，可以实现价值百万美元设备上才能达到的稳定性和均匀性。这款设备采用了不锈钢外壳，更加耐久和美观；采用了工业级别的200W的伺服电机系统和与track设备相同的设计和程序，使工艺更具有实际应用意义；CY-AC200在同类产品中较先达到5000RPM/s的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。

○ 产品特点

1：新颖的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸；
2：采用7英寸触摸屏控制面板，操作更加便捷；
3：采用“密闭碗”设计，可以适应各种材料的匀胶工艺；
4：标准配置的转速为10000rpm，可以根据用户需要进行定制；
5：采用工业级的伺服电机，电机独特的设计可以避免光刻胶等污染物进入电机内部；
6：机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗；
7：排风和抽气系统位于载片台的底部，利于排风效率和匀胶的均一性；
8：透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。

○ 技术参数

1：主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）；
2：内腔采用易清洁、耐腐蚀的超高分子材料（HDPE）；
3：旋涂程序：*多可存100组程序，每组100步，每个步骤可**到0.1秒；
4：旋涂速度：0-10000rpm；
5：旋涂加速度：0-50000rpm/s；
6：马达旋涂转速稳定性能误差：＜±1rpm（CY-AC200-SE)；＜±0.1rpm（CY-AC200-PE)；
7：转速调节精度及重复性：1rpm（CY-AC200-SE);0.1rpm（CY-AC200-PE)；
8：CY-AC200-PE另带真空数字显示、开关压力调节和电子水平显示功能；
9：工艺时间设定：0-3000sec/step，时间设置精度：0.1sec；
10：支持wafer尺寸：碎片至200mm（8''圆晶）；
11：旋涂作业均匀性：＜±3%在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米测量） 。

○ 免责声明

本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等），仅供参考。泰诺公司产品在不断更新，网站内容可能由于更新不及时，或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异，请与本公司销售人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，泰诺公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知。