产品名称：超声波辅助气氛加热匀胶机

TN-SPC-HUA6全自动超声波辅助气氛加热匀胶机是一种小型、灵活的旋转匀胶设备，可通过超声波喷头把胶液喷洒在基片上，进而通过高速旋转使得胶液均匀涂覆在基片上。也可以单独进行旋涂操作。腔体内布有加热元件，可在匀胶后进行烤胶操作。产品带有两路浮子流量计控制的气路，可将惰性气体通入腔体内，在匀胶时保护胶液不收空气中的气体影响。
此款匀胶机适用于半导体硅片，载玻片，晶片，基片，ITO导电玻璃等工艺、制版的表面涂覆。可匀胶*大圆晶尺寸为6英寸，转速可达10000rpm，加速度可达5000rpm；具有转速稳定，启动迅速，操作方便等优点，并能保证匀胶厚度的一致性和均匀性，是一款性能优良的产品。

名称	全自动超声波辅助气氛加热匀胶机
型号	SPC-HUA6
特征	采用直流无刷电机，单片机控制 高清晰触摸屏控制 可进行单步多步匀胶操作，可存储五种程序，每种程序可设置五步操作 防堵胶设计 铝合金腔体，坚固耐用 带有超声波，气氛，加热等多种辅助功能，为匀胶研究进行多种辅助
匀胶机	圆晶尺寸 6英寸 旋转速度 100~10000rpm可调 旋转加速度 100~5000rpm/s可调 单次*长匀胶时间 3000s 匀胶腔体尺寸 Φ200mm* 90mm 电压 220V 50Hz 功率 400W 加热温度 0-100℃ 质保时间 易损件除外，1年，终身技术支持
超声波系统	雾化头材质 钛合金 频率 40kHz 功率 130W 流量 0.55mL/s 微粒直径 25um 雾化头类型 锥型 雾化头重量 0.3kg 超声波电源尺寸 315*312*135mm 超声波电源重量 5kg
注射泵	流量范围 0.001uL/min-43.349mL/min 掉电记忆工能 保存设置参数，重新上电后，无需设置 适用进样器规格 10uL-1000uL 适用注射器规格 1mL-60mL 线速度范围 5um/min-65um/min 线速度调节分辨率 5um/min *大行程 140mm 行程分辨率 0.156um 额定线性推力 ＞90N
流量计	控制气体种类 2种 气体流速 16-160mL/min