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  • 产品名称：等离子体测试设备

  • 产品型号：TN-PT
  • 产品厂商：泰诺
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简单介绍：
等离子体测试设备是高校实验室进行等离子体相关性质研究的必备仪器。该等离子体测试设备的电感线圈采用水冷设计，外壳另有散热风扇，保证了整套设备长时间工作的稳定性
详情介绍：
等离子测试设备主要部件为一个电感耦合的等离子发生器，发生器能够在电感线圈内部的石英管内产生等离子体，石英管两侧的法兰配有观察窗，用户可以在观察窗上观察实验现象或者用其他仪器测量相关参数。设备采用触控屏控制，屏幕集成所有实验功能，如抽放真空、流量控制、射频电源调节等。同时电感线圈采用水冷设计，外壳另有散热风扇，保证了整套设备长时间工作的稳定性。该设备是高校实验室进行等离子体相关性质研究的必备仪器。

名称

等离子测试设备

特点

a.触控屏控制

b.石英管两侧的法兰配有观察窗

c.水冷电感线圈,外壳另有散热风扇

d.电感耦合的等离子发生器

参数

1.供电电压       AC220V，50Hz

2.*大功率       1KW

3.耦合方式       电感耦合

4.石英腔体       O.Dφ30mm X 150mm   壁厚3.5mm

5.观察窗尺寸    φ30mm

6.真空接口        KF16

7.进气口接口    6.35mm 卡套接头

8.质量流量计    Ar标定 量程100sccm

9.真空泵           双极旋片真空泵

10.极限真空度   0.1Pa

11.冷却方式      水冷铜管+风冷壳体

12.射频电源      *大输出功率300W自动匹配

13.频率            13.56MHz
规格

整机尺寸    560mm X 620mm X 620mm