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  • 产品名称：四英寸同步加热防腐匀胶机

  • 产品型号：TN-SPC4-E-H
  • 产品厂商：泰诺
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简单介绍：
四英寸同步加热防腐匀胶机采用特殊设计，使得在匀胶过程中能够同步对基片进行加热，*高加热温度为200℃，能够满足一些溶液在匀胶过程中的温度要求。同时四英寸同步加热防腐匀胶机还配有排液管和废料罐，方便客户收集废液，有效防止腐蚀性液体飞溅到环境中。
详情介绍：

TN-SPC4-E-H 四英寸同步加热防腐匀胶机 本型采用特殊设计，使得在匀胶过程中能够同步对基片进行加热，*高加热温度为200℃，能够满足一些溶液在匀胶过程中的温度要求。同时设备还配有排液管和废料罐，方便客户收集废液，有效防止腐蚀性液体飞溅到环境中。

旋涂仪也称匀胶机，是利用高速旋转产生的离心力来涂覆膜料的设备。匀胶机可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜，主要应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域。


加热防腐匀胶机技术参数：

名称

四英寸同步加热防腐匀胶机

型号

TN-SPC4-E-H

特点

  • 体选用PTFE(聚四氟乙烯) 可用于含HF H3PO4 的液体
  • 样品台 镀金铜 导热性好
  • 陶瓷加热环 加热 RT~200℃
  • 排液管和废液罐，方便客户收集废液，有效防止腐蚀性液体飞溅到环境中

技术参数

  • 电源 AC220V 50Hz
  • 腔体材质 PTFE(聚四氟乙烯)
  • 可用于含HF H3PO4 的液体
  • 上盖 PVC （聚氯乙烯，方便观察涂膜状态）
  • 样品台 镀金铜 导热性好
  • 基片尺寸 直径≤4 英寸（100mm）
  • 加热方式 陶瓷加热环
  • 工作温度 RT~200℃
  • 转速 0-3000RPM
  • 转速分辨率 1RPM
  • 操作方式 7寸高清LCD 触控屏
  • 滴胶方式 手动滴胶，在旋涂过程中可以提供液体
  • 排液管和废液罐 PTFE （聚四氟乙烯）
  • 匀胶曲线 每条曲线5段，共可储存5条曲线
  • 真空吸盘 镀金，3片直径分别为10mm,25mm,55mm
  • 真空泵 无油泵 抽速 50L/min