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5L等离子清洗机除了具有清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能，在清洗过程中，小型等离子清洗机的辉光放电可以加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
这款等离子清洗机适合于实验室和小型生产。采用13.56Mhz的射频电源，能够用来匹配各种常用气体的等离子体。射频电源的功率从100W到1000W之间有多种常用规格可供选配，能够满足用户的多样化需求。
5L等离子清洗机技术参数：
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主要部件 |
指标名称 |
参数指标 |
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清洗仓体 |
清洗仓材质 |
高纯石英 |
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清洗仓尺寸 |
直径200mm;长度170mm |
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射 频 电 源 |
电源特性 |
该电源为全固态射频电源，采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块，有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件，使产品的可靠性得以保证。 |
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电源优势 |
●可长时间正常运行
● 电源效率高、发热少 |
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射频功率 |
0~500W连续可调/0~1000W连续可调 |
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信号频率 |
13.56MHz ±0.005% |
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反射功率 |
≤200W |
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功率稳定度 |
±0.1% |
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射频接头 |
N型头 |
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整机效率 |
≥75% |
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谐波分量 |
≤-50 dBc |
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冷却方式 |
强制风冷 |
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气 体 测 量 |
测量部件 |
浮子流量计 |
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气体通道 |
两通道 |
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A通道量程 |
10～100ml |
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B通道量程 |
16～160ml |
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真 空 获 取 |
真空测量 |
数字真空计（电阻规） |
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真空抽取 |
双极旋片泵 |
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电机转速 |
50Hz时为：1440；60Hz时为：1720。 |
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抽气速率 |
50Hz时为：1.1L/s；60Hz时为：1.3L/s。 |
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真空量程 |
0.1Pa～10000Pa |
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极限真空 |
0.5Pa |
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电机噪音 |
≤56dB |
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管道接口 |
进气口：KF16;排气口KF16. |
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连接管道 |
KF16真空波纹管 |
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真空阀门 |
电磁阀 |
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电机功率 |
400W |
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其 它 |
供电电源 |
AC220V 50/60Hz |
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整机功率 |
1000W/1500W |
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使用温度 |
-10℃ -- 40℃ |
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工作真空 |
≤40Pa |
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整机尺寸 |
600mmX650mmX730mm |
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整机重量 |
80kg（含包装） |
5L等离子清洗机应用范围：
金属：去除金属表面的油脂,油污等有机物及氧化层；
汽车制造：用于汽车制造过程中的塑料和喷漆前处理；
纺织品生产：用于纺织品,滤网和薄膜的亲水性,疏水性和表面改性处理；
生物医疗：培养皿提高活性，血管支架，注射器，导管和各种材料的亲润，交合涂覆前处理；
航空航天：绝缘材料，电子元件等表面涂覆前处理；
电子：线路板的清洗和蚀刻。胶片，PP等材料的无氧化和活化处理，改进可焊性；
半导体行业：晶圆加工及处理去除光刻胶，封装前预处理；
LED：支架清洗封装前预处理；
塑料橡胶：提高PS，PE，PTFE，TPE，POM，AS和PP等材料表面活性，使其利于粘接，印刷。
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