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等离子清洗机(plasma cleaner),是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的
5L等离子清洗机 电容耦特点:
腔体可利用面积大,起辉均匀,可清洗6英寸硅片。
5L等离子清洗机电容耦合技术参数:
主要部件
指标名称
参数指标
清洗仓体
清洗仓材质
SS304
清洗仓尺寸
200x160x240mm
耦合方式
电容耦合
射
频
电
源
电源特性
该电源为全固态射频电源,采用高稳定高可靠的功放模块和直流模块,有效保障了电源的射频功率输出。采用高质量的电子元器件,使产品的可靠性得以保证。
电源优势
●可长时间正常运行
● 电源效率高、发热少
射频功率
0~300W连续可调
信号频率
13.56MHz ±0.005%
反射功率
≤100W
功率稳定度
±0.1%
射频接头
N型头
整机效率
≥75%
谐波分量
≤-50 dBc
冷却方式
强制风冷
气
体
测
量
测量部件
两路质量流量计 Ar
0~200sccm; O2 0~200sccm 可定制
其他参数参考之前的产品
气体通道
两通道
A通道量程
10~100ml
B通道量程
16~160ml
真
空
获
取
真空测量
数字真空计(电阻规)
真空抽取
双极旋片泵
电机转速
50Hz时为:1440;60Hz时为:1720。
抽气速率
50Hz时为:240L/Min;60Hz时为:288L/Min。
真空量程
0.1Pa~10000Pa
极限真空
0.5Pa
电机噪音
≤56dB
管道接口
进气口:KF16;排气口KF16.
连接管道
KF16真空波纹管
真空阀门
KF16球阀
电机功率
400W
其
它
供电电源
AC220V 50/60Hz
整机功率
800W
使用温度
-10℃ -- 40℃
工作真空
≤40Pa
整机尺寸
600mmX650mmX560mm
整机重量
80kg(含包装)
● 操作简单灵活
● 具有完善的反射功率保护功能