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  • 产品名称:磁控溅射镀膜仪

  • 产品型号:TN-1100X-SPC16M
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
此款磁控溅射镀膜仪是依据二级(DC)直流溅射原理设计而成的*简单、可靠、经济的镀膜设备,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。这款磁控溅射镀膜仪结构紧凑,体型小巧,适合实验室采购。
详情介绍:

○ 产品介绍

此款磁控溅射镀膜仪是依据二级(DC)直流溅射原理设计而成的*简单、可靠、经济的镀膜设备,适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。这款磁控溅射镀膜仪结构紧凑,体型小巧,适合实验室采购。


○ 适用范围

适用于实验室各种复合膜样品的制备,以及非导体材料实验电极的制作。


○ 产品特点

1:设有真空表、溅射电流表,可实时监控设备工作状态。
2:可通过调节溅射电流控制器和微型真空阀来控制真空室压强、电离电流,以获得**镀膜效果。
3:真空室石英腔体边缘的橡胶密封圈采用了特殊设计,得以保证真空室长期使用且不出现崩边现象。
4:用更加经久耐用的陶瓷橡胶密封圈取代了通常用的橡胶密封。
5:采用了大容量溅射真空室和相应面积的溅射靶,是溅镀出的膜层更加均匀纯净。
6:溅射头采用了特殊的制冷技术,可以得到高性能、精细颗粒的图层。   
7:可用水冷溅射头、水冷载物台。


○ 技术参数

产品型号 

CY-1100X-SPC16M 

微型真空气阀 

连接φ3mm软管 

电源 

220V 50Hz 

较高电压 

1600V DC 

靶材直径 

50mm 

机械泵流量 

2L/s 

样品台直径 

50mm 

产品尺寸 

360×300×380 

真空室尺寸 

Φ50mm 

标准配件 

金靶材1个,进气针阀1个,保险丝2个 

较高真空度 

4×10-2torr 

可选配件 

Au、In、Ag、Pt等各种靶材 

较大电流 

50mA 

包装 

三合板木质包装

可设定*长时间 

9999s 

保修

1年


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