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  • 产品名称：小型单靶磁控直流溅射镀膜仪

  • 产品型号：MSP180G-DC
  • 产品厂商：泰诺
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简单介绍：
小型单靶磁控直流溅射镀膜仪是一款实验室制备材料薄膜的理想设备，该小小型单靶磁控直流溅射镀膜仪配150W直流电源，可用于金属溅射镀膜。
详情介绍：

小型单靶磁控直流溅射镀膜仪经过小型化设计，将设备外形限制在了桌面级别，大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源，能够用于溅射金属材料，具有速度快温升低等特点。


名称
小型单靶磁控直流溅射镀膜仪
特点
  • 速度快温升低
  • 可用于制备单层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜等
  • 小型化设计，将设备外形限制在了桌面级别
技术参数
  • 样品台： 直径100mm，可加热 *高温度500℃，可旋转 0-20rpm 可调
  • 磁控靶枪： 2 英寸圆形平面靶, 
  • 真空腔体： Φ180mm × H 215mm;高纯石英; 观察窗口 全向透明; 开启方式 顶盖拆卸式
  • 直流电源： 功率 *大150W ，数量 1
  • 真空系统 
  1.  机械泵 旋片泵 抽速 1.1L/S，
  2.  分子泵 涡轮分子泵 抽速 600L/s
  3.  真空测量 电阻规+电离规
  4.  极限真空 1.0E-4Pa
  5.  抽气接口 KF16
    抽气接口 KF40
    排气接口 KF16
  • 供电电压：AC220V 50H 整机功率 2kw
  • 整机尺寸：550*350*400mm