产品详情
  • 产品名称:桌面单靶磁控溅射镀膜仪(镀铝型)​

  • 产品型号:MSP180G-ALDC
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
桌面单靶磁控溅射镀膜仪(镀铝型)​是一款实验室制备材料薄膜的理想设备,该桌面单靶磁控溅射镀膜仪(镀铝型)​配500W高性能直流电源,十分适合镀铝以及对空气十分敏感的金属材料。
详情介绍:

桌面单靶磁控溅射镀膜仪(镀铝型)经过小型化设计,将设备外形限制在了桌面级别,大大减少了安装场地需求。设备配有一个高性能直流电源,具有炼靶功能,有效去除铝靶表面的氧化层,十分适合镀铝等对空气十分敏感的材料。本设备结构紧凑功能完善便于使用,非常适合用于各类镀膜试验。


名称
桌面单靶磁控溅射镀膜仪(镀铝型)
特点
  • 速度快温升低
  • 高性能直流电源,具有炼靶功能,有效去除铝靶表面的氧化层,十分适合镀铝等对空气十分敏感的材料
  • 小型化设计,将设备外形限制在了桌面级别
技术参数
  • 样品台: 直径100mm,可加热 *高温度500℃,可旋转 0-20rpm 可调
  • 磁控靶枪: 2 英寸圆形平面靶, 
  • 真空腔体: Φ180mm × H 215mm;高纯石英; 观察窗口 全向透明; 开启方式 顶盖拆卸式
  • 直流电源: 输出功率 *大500W ,数量 1
  • 真空系统 
  1.  机械泵 旋片泵 抽速 1.1L/S,抽气接口 KF16 排气接口 KF16
  2.  分子泵 涡轮分子泵 抽速 600L/s, 抽气接口 KF40 排气接口 KF40
  3.  真空测量 电阻规+电离规
  4.  极限真空 1.0E-4Pa
  • 供电电压:AC220V 50H 整机功率 2kw
  • 整机尺寸:550*350*500mm