产品名称：桌面型行星式单靶磁控镀膜仪

本设备为桌面型行星式单靶磁控镀膜仪，腔体下半部为不锈钢机构，上部为高纯石英，兼顾了真空性能和容纳复杂样品台的功能型。设备外形为桌面级别，大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源，可用于金属及其他导电材料的溅射。设备真空系统采用涡轮分子泵组，抽气速度快，极限真空度高，真空性能优异。本设备结构紧凑功能完善便于使用，非常适合用于各类镀膜试验

行星式单靶磁控镀膜仪技术参数：

CY-MSP180G-PST（Planetary sample table）行星式单靶磁控镀膜仪
样品台	尺寸	φ50mm x4	转速	公转转速0-10rpm可调, 公转自转转速比1:5
磁控溅射靶	数量	2” x1
真空腔体	腔体尺寸	φ180mm X 100mm	观察窗口	全向可视
	腔体材料	高纯石英	开启方式	顶盖拆卸式
	下法兰	含有行星式传动机构，焊接真空接口及进气阀
真空系统	机械泵	双级旋片泵	抽气接口	KF16
	分子泵	涡轮分子泵	抽气接口	KF40
	真空测量	电阻规+电离规	排气接口	KF40
	极限真空	1.0E-3Pa	供电电源	AC 220V 50/60Hz
	抽气速率	前级泵 1.1L/s 分子泵：60L/S
电源配置	数量	直流电源 x1	*大输出功率	直流电源300W
其他	供电电压	AC220V,50Hz	整机尺寸	500mm X 320mm X6200mm
	整机功率	2kW