产品名称：桌面型石英腔体单靶磁控镀膜仪

本设备为桌面型单靶磁控镀膜仪。设备经过小型化设计，将设备外形限制在了桌面级别，大大减少了安装场地需求。设备配有一个直流电源，能够用于溅射金属材料，具有速度快温升低等特点

单靶磁控镀膜仪技术参数：

桌面型单靶磁控镀膜仪
样品台	尺寸	φ100mm
	加热	*高500℃
	转速	0-20可调
磁控溅射靶	数量	2” x1
真空腔体	腔体尺寸	φ180mm X 215mm
	观察窗口	全向透明
	腔体材料	高纯石英
	开启方式	上盖拆卸式
真空系统	机械泵	旋片泵
	分子泵	涡轮分子泵
	真空测量	电阻规+电离规
	抽气接口	KF16
	抽气接口	KF40
	排气接口	KF16
	极限真空	1.0E-4Pa
	供电电源	AC 220V 50/60Hz
	抽气速率	机械泵1.1L/s  分子泵600L/s
电源配置	数量	直流电源 x1
	*大输出功率	直流电源150W
其他	供电电压	AC220V,50Hz
	整机功率	2kW
	整机尺寸	550mm X 350mm X400mm