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  • 产品名称：小型样品台往复单靶磁控镀膜仪

  • 产品型号：
  • 产品厂商：泰诺
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简单介绍：
小型样品台往复单靶磁控镀膜仪是一款实验室制备材料薄膜的理想设备，该小型样品台往复单靶磁控镀膜仪配150W直流电源，可用于金属溅射镀膜。
详情介绍：

小型样品台往复单靶磁控镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比磁控溅射镀膜设备，具有小型化、标准化的特点。磁控靶有1英寸、2英寸可以选择，客户可以根据所镀基板的大小自主选择；所配电源为150W直流电源，可用于金属溅射镀膜。镀膜仪配有通气接口，可以通入保护性气体，若客户需要通入混合气体，可以联系工作人员自行配置高精度质量流量计以满足实验需要。仪器标配先进的涡轮分子泵组，极限真空可达1.0E-5Pa，同时另有其他类型的分子泵可供选购。


名称
小型样品台往复单靶磁控镀膜仪
特点
  • 往复样品台，镀膜更加均匀，高效
  • 可用于制备单层铁电薄膜、导电薄膜、合金薄膜等
  • 与同类设备相比，经过小型化设计，高度集成
技术参数
  • 往复样品台： 尺寸 50*100mm， 往复速度 0~50mm/s
  • 磁控靶枪： 2 英寸圆形平面靶, 溅射真空 10Pa～0.2Pa,  靶材厚度 建议2～5mm, 靶头温度 ≦65℃
  • 真空腔体：  约为Φ180mm × H 215mm;高纯石英; 观察窗口 全向透明; 开启方式 顶盖拆卸式
  • 直流电源： 功率 *大150W ，数量 1
  • 分子泵系统 
  1. 前级泵： 旋片泵 VRD-4 、抽速 1.1L/S、 极限真空 5*10-1Pa
  2. 分子泵：分子泵、抽速600L/S、 额定转速 24000rpm、 极限真空 5*10-5Pa、 

                       振动值 ≦0.1um、 启动时间 ≦4.5min、 停机时间 <7min、 冷却方式 水冷+风冷

  • 水冷机： 冷却水温度 ≦37℃， 冷却水流速 10L/min
  • 供电电压：AC220V 50Hz