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  • 产品名称：热丝化学气相沉积（HFCVD）金刚石涂层设备

  • 产品型号：TN-HFCVD
  • 产品厂商：泰诺
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简单介绍：
热丝化学气相沉积（Hot filament Chemical Vapor Deposition,HFCVD）拥有工艺成熟，设备简单等诸多优点，是工业上应用*多的金刚石薄膜制备方法之一。设计用于合成纳米金刚石涂层，CVD金刚石薄膜，微晶CVD金刚石涂层，石墨烯，碳纳米管（CNTs）和各种其他薄膜涂层
详情介绍：
热丝化学气相沉积（Hot filament Chemical Vapor Deposition,HFCVD）拥有工艺成熟，设备简单等诸多优点，是工业上应用*多的金刚石薄膜制备方法之一。设计用于合成纳米金刚石涂层，CVD金刚石薄膜，微晶CVD金刚石涂层，石墨烯，碳纳米管（CNTs）和各种其他薄膜涂层。金刚石作为所有已知材料中*硬的物质，还有用高热导率，高弹性模量，良好的耐磨性，耐腐蚀性，较低的摩擦系数和化学稳定性，是切削的优良材料。本设备包括反应腔室、支撑系统、水路系统、气路系统以及自动化控制系统等。设备结构紧凑，布局合理，经由多年设备研发的工程师团队，反复推敲，多次实验，结合计算机辅助设计系统无数次校核、验证。使设备具有优良的沉积性能及可靠的**性。本产品具有节能，可靠，方便，智能化为一体的优良设备。


热丝化学气相沉积产品特点：

本产品为双层不锈钢腔体式结构，结构紧凑合理；
本产品分上台架和下台架两大部分，下台架除了用于支撑反应腔室，还布置气路阀门，水路管道以及各种控制元件。上台架布置显示面板，电源器件，合理屏蔽电路干扰；
本产品**分散冷却水道布局（腔体上盖，腔体主体上下层和底板，以及热丝弹力装置等地方）。水泵，水管，智能监控流量计，水路歧管等，均为封闭式循环系统。
本产品气路组合主要由工艺气体供给系统以及真空系统，气路管道的合理分布，有效利用可使用的空间，气体流量，压力的实时监测及**控制。
本产品选用双基片式真空泵，抽气速度稳定在65m3/h.极限优良真空全压为0.5Pa，防护的等级为IP54.

热丝化学气相沉积技术指标与特性：

真空腔室

结构：圆筒形+上盖

材质：304上等不锈钢

腔体尺寸:Φ640x320mm

电源：

AC220V /三相380V 30KW

控温

低压和大电流直流电源，热丝温度*高可达2500°C。  

沉积基体表面：600℃左右

腔体壁温度： <60℃

控温精度：0.1℃ 

测温系统

远红外光学测温+热电偶监测

热丝装置：

恒定张力阵列几何形状，钼丝，铜馈通，钨丝结合处理，方便调整与维护

观察窗

主观察窗φ190mm 辅观察窗φ45mm

水路系统

水冷电极、水冷腔体、水冷热丝辅助部件

总水管接口尺寸 40mm

冷却水流量：60L/MIN

真空系统

双级旋片泵+高真空阀门组合（**阀，流量感应器，调节阀……） ，数显复合真空计，

*大抽气速度：65 m3/h

设备保压：停泵 12 小时候后，真空≤10Pa；

抽气接口 CF40    排气接口KF16

操作系统：

PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统；

**系统

报警及保护：对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；完善 的逻辑程序互锁保护系统；

占地尺寸

(主机）L1800×W1150×H1550(mm)。

整机重量

600kg