产品名称：三靶磁控溅射镀膜仪

产品型号   

三靶磁控溅射仪（TN-600-3HD）   

安装条件   

 本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。   

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）   

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地   

3、气：设备腔室内需充注氩气（纯度99.99%以上），需自备氩气气瓶（自带Ø6mm双卡套接头）及减压阀   

4、工作台：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上   

5、通风装置：需要   

主要特点   

1、配置三个靶枪，一个配套射频电源用于非导电靶材的溅射镀膜，两个配套直流电源用于导电性材料的溅射镀膜（靶枪可以根据客户需要任意调换）。   

2、可制备多种薄膜，应用广泛。   

3、体积小，操作简便。   

4、整机模块化设计，真空腔室、真空泵组、控制电源分体式设计，可根据用户实际需要调整购买需求。   

5、可根据用户实际需要选择电源，可以一个电源控制多个靶枪，也可多个电源单一控制靶枪。   

技术参数   

1、电源电压：220V   50Hz   

2、总功率：2.5KW   

3、极限真空度：<  E-6mbar（配合本公司设备使用可达到 E-5mbar）   

4、工作温度：RT-500℃，精度±1℃（可根据实际需要提升温度）   

5、靶枪数量：3个   

6、靶枪冷却方式：水冷   

7、靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材质不同厚度有所不同）   

8、直流溅射功率：500W（可选）   

9、射频溅射功率：300W/500W（可选）   

10、载样台：Ø140mm   

11、载样台转速：1rpm-20rpm内可调   

12、保护气体：Ar、N2等惰性气体   

13、进气气路：质量流量计控制2路进气，每个流量为100SCCM   

产品规格   

主机尺寸：500mm×560mm×660mm，整机尺寸：1300mm×660mm×1200mm；重量：160kg   

标准配件   

1   

直流电源控制系统   

2套   

2   

射频电源控制系统   

1套   

3   

膜厚监测仪系统   

1套   

4   

600分子泵组

1台   

5   

工业级水冷机   

1台   

6   

冷却水管（Ø6mm）   

4根   

可选配件   

金、铟、银、白金等各种靶材