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  • 产品名称:多功能真空镀膜仪

  • 产品型号:TN-1100X-SPC-16C
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
此款多功能镀膜仪是一台小型台式镀膜仪,外形小巧,操作便捷,设有真空表,溅射电流表等,可实时监控工作状态。通过调节电离气体和镀膜仪参数,可获得良好的镀膜效果。由于多功能镀膜仪既可进行等离子镀膜,又可进行热蒸发镀膜,为广大客户所欢迎,并受到好评。
详情介绍:

○ 产品介绍

此款多功能镀膜仪是一台小型台式镀膜仪,外形小巧,操作便捷,设有真空表,溅射电流表等,可实时监控工作状态。通过调节电离气体和镀膜仪参数,可获得良好的镀膜效果。由于既可进行等离子镀膜,又可进行热蒸发镀膜,为广大客户所欢迎,并受到好评。


○ 适用范围

实验室镀膜使用。


○ 技术参数

 型号 

 TN-1100X-SPC-16C 

 控温精度 

 ±1 

 靶材直径 

 50mm 

 钨丝篮 

 2 

 样品台直径 

 50mm 

 真空接口 

 KF25 

 真空腔体尺寸 

 φ160*110mm 

 显示器 

 LCD触摸屏 

 真空度 

 10Pa~10-3Pa 

 总功率 

 <2000W 

 Max电流 

 50mA 

 *高温度 

 1100 

 Max设置时间 

 9999s 

 工作电压 

 直流1600V,可调 

 电源电压 

 220V 50Hz 

 保修

 1

 总功率 

 <2000W 

 膜厚监测仪

 (选配) 

 电源:DC5V 工作电流400mA 

 膜厚分辨率:0.0136埃米 

 膜厚准确度:±0.05%,取决于过程条件 

 测量速度:100ms-1s每次,可调 

 标准传感晶体:6MHz石英

 *高温度 

 1100 

 热电偶 

 S型热电偶 

 真空泵

 双极旋片真空泵:10-100Pa 

 涡旋分子泵系统:10-3Pa 


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