产品名称：多源高真空蒸发镀膜仪

本设备为多源高真空蒸发镀膜仪，设备采用前开门式真空腔体设计，腔体空间大，可拓展性强，能够满足多样式大尺寸样品的蒸发镀膜。腔体内配有上置样品台，可根据用户样品样式选取夹持或卡位式样品安装部件。样品台可旋转、加热及升降，所有操作均通过触控屏集成控制。设备的真空泵组为两级式真空系统，由双极旋片真空泵和涡轮分子泵组成，可为真空镀膜试验提供清洁无油的高真空的环境；真空系统内含有完善的气动阀系统，用户可通过触控屏进行一键式操作实现抽取真空、不停机取放样、完全停机等操作。

本设备的蒸发源共两组，采取钨舟蒸发源，水冷式铜电极，可*大支持300A的大电流，加热温度*高可达3000℃，可实现多种难熔金属的蒸镀。本设备采用一体化设计，腔体和电控部分左右分置，实现了水电分离，有力的保证了用户的**。电控部分采用触控屏和按钮面板相结合的设计，真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作，通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作，在尽可能方便用户的同时规避了误操作的可能。该设备设计完善性能优越，是实验室高精度蒸发镀膜试验的必备之选。

名称	多源高真空蒸发镀膜仪
特点	蒸发源共两组， 采取钨舟蒸发源，加热温度*高可达3000℃，可实现多种难熔金属的蒸镀 腔体和电控部分左右分置，实现了水电分离 真空系统、样品台等辅助功能通过触控屏一键操作 通电蒸发、膜厚控制等通过面板独立操作
技术参数	样品台： *大支持φ150mm样品 高度 上下70mm可调 蒸发源： 钨舟x2  真空腔体： 腔体材料 304不锈钢，尺寸 φ300x400mm 观察窗口 前置φ100mm含遮光片，开启方式 前开门式 膜厚控制：晶振式膜厚测量仪，可选多通道膜厚控制仪 真空系统： 前级泵 双极旋片泵 抽气接口 KF16 次级泵 涡轮分子泵 抽气接口 CF160 真空测量 电阻+电离 复合真空规                  排气速率 机械泵1.1L/s， 分子泵 600L/s； 抽气速率 旋片泵：1.1L/S  极限真空 1.0E-5Pa   供电电源 AC 220V 50/60Hz 流量计：一路质量流量计 500sccm Ar气 控制系统： PLC自动控制 操作界面：触控屏+操作面板
规格	供电电压 AC380V,50Hz 整机功率 5kW 整机重量 350kg 整机尺寸 1000mm X 800mm X 1500mm