产品名称：小型高真空热蒸发镀膜仪

○ 产品介绍

TN-EVP180S-HV本仪器是一款高真空紧凑型热蒸发镀膜仪，蒸发温度从200℃到1700℃，采用钨丝篮作为蒸发源，蒸发源外套高纯氧化铝坩埚。上盖装有可旋转的样品台，能够有效提高成膜的均匀度。仪器拥有高精度的温度控制系统，采用循环加热方式，能够稳定蒸发金属及有机物。采用不锈钢高真空腔体设计，配高精度分子泵，能够达到高真空要求，较高的真空度能够有效提升蒸发镀膜的效率及质量。

○适用范围

TN-EVP180S-HV适用于蒸发涂覆大多数金属和某些有机材料薄膜。

○产品特点

1：不锈钢高真空腔体设计。

2：可旋转的样品台，能够有效提高成膜的均匀度。

3：高精度的温度控制系统，采用循环加热方式，能够稳定蒸发。

4：高精度分子泵，能够达到高真空要求。

○技术参数

样品台	直径65mm	样品台距蒸发源距离	60-100m 可调节
样品台转速	1-20rpm 可调节	蒸发源	钨丝蓝 *高温1700℃
热电偶	S型	真空腔体尺寸	φ170*200mm
腔体材料	不锈钢	观察窗	φ70mm
真空系统	产品型号CY-GZK103-A抽气接口KF40 分子泵FJ-150排气接口KF16 前极泵VRD-4真空测量复合真空计 极限真空10E-5Pa 抽气速率分子泵：150L/S  旋片泵：4L/S   综合抽气性能：20分钟真空度可达： 10E-3Pa	规格	供电电压AC220V,50Hz整机尺寸600mm× 300mm× 470mm 整机功率1.5kw整机重量40kg 极限真空度10E-5Pa

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