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  • 产品名称：高真空蒸发溅射二合一镀膜仪

  • 产品型号：TN-EVS180S-HV
  • 产品厂商：其它品牌
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简单介绍：
高真空蒸发溅射二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件,可用于等离子溅射方式镀金属膜，也可用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。该高真空蒸发溅射二合一镀膜仪高度集成化，在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能。
详情介绍：

真空蒸发等离子溅射二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件，不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜，也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化，在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能；本镀膜仪采用304不锈钢腔体作真空腔体，镀膜过程完全可见。仪器标配双极旋片真空泵，能够快速达到1.0E-3Pa的真空度,极限真空度1.0E-5Pa，可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本仪器体积小，节省空间，能够置于试验台上使用，一机多用，性价比突出，非常适合各大高校及研究机构选用。

名称

高真空蒸发等离子溅射二合一镀膜仪

型号

TN-EVS180S-HV

应用

扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作，以及非导体材料试验电极的制作等。

技术参数

供电电压 AC220V，60Hz

max大功率 1200W

样品台 直径φ65mm；

与蒸发源间距可调，调节范围60mm-100mm

真空腔体 材质：304不锈钢 O.Dφ168mm x I.Dφ160mm x 210mm

max高温度 1700℃

热电偶 B型热电偶

真空计 电子式真空计

真空系统 前级泵：浦发MVP030 无油泵   抽速30L/min

次级泵：莱宝TURBOVAC 90iX   抽速90L/s

真空接口 KF40

进气接口 1/4卡套接头

规格

整机尺寸 500x350x400mm