产品详情
  • 产品名称:小型二合一镀膜仪

  • 产品型号:TN-EVS180G-LV
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件,不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化,在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能;该小型二合一镀膜仪采用高纯石英腔体作真空腔体,镀膜过程完全可见。仪器标配双极旋片真空泵,能够快速达到1.0E-1Pa的真空度,可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本小型二合一镀膜仪体积小,节省空间,能够置于试验台上使用,一机多用,性价比突出,非常适合各大高校及研究机构选用。
详情介绍:

小型二合一镀膜仪适用范围:

扫描电镜样品表面喷金、蒸金喷碳等操作,以及非导体材料试验电极的制作等。

小型二合一镀膜仪技术参数:

小型二合一镀膜仪

样品台

尺寸

φ80mm

至蒸发源间距

20mm~50mm可调

直流溅射头

数量

2”×1

 

 

蒸发系统

蒸发源

钨丝篮

*高温度

1700

热电偶

S型热电偶

 

 

真空腔体

腔体尺寸

φ180mm×100mm

观察窗口

全向透明

腔体材料

高纯石英

开启方式

顶盖拆卸式

真空系统

机械泵

旋片泵

抽气接口

KF16

真空测量

电阻规

排气接口

KF16

极限真空

1.0E-1Pa

供电电源

AC;220V 50/60Hz

抽气速率

旋片泵:1.1L/S