产品名称：等离子溅射热蒸发二合一镀膜仪

TN-EVS180G-LV 等离子溅射热蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件，不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜，也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化，在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能；该小型二合一镀膜仪采用高纯石英腔体作真空腔体，镀膜过程完全可见。仪器标配双极旋片真空泵，能够快速达到1.0E-1Pa的真空度，可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本小型二合一镀膜仪体积小能够置于试验台上使用，一机多用，性价比突出，非常适合各大高校及研究机构选用。

产品名称	等离子溅射热蒸发二合一镀膜仪
产品型号	TN-EVS180G-LV
主要特点	等离子溅射和蒸发二合一，一机多用，性价比突出 高纯石英腔体作真空腔体，镀膜过程完全可见 采用高纯石英腔体作真空腔体，镀膜过程完全可见。 仪器标配双极旋片真空泵，能够快速达到1.0E-1Pa的真空度
技术参数	样品台：直径80mm, 至蒸发源距离 20mm~50mm 可调 溅射头：直流、尺寸：2inch *1 溅射电源：直流电源 150W max. 蒸发系统：钨丝蓝、 max1700℃、S型热电偶 真空腔体：直径180mm*150mm、高纯石英、顶盖拆卸式 全向透明 真空系统：机械泵（旋片泵：1.1 L/S）、极限真空：1.0E-1Pa、电阻规测量、KF16 抽气排气接口、供电电源：AC;220V 50/60Hz
产品规格	尺寸：360mm*300mm*470mm、 重量：约20kg、功率1.5KW