产品详情
  • 产品名称:小型等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪

  • 产品型号:TN-EVS180G-LV
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
小型等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪 TN-EVS180G-LV 不但可用等离子溅射方式镀金属膜,也可用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。该小型等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪,体积小巧,一机多用,性价比突出,非常适合各大高校及研究机构。
详情介绍:

TN-EVS180G-LV 小型等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪配备了直流溅射靶和热蒸发组件,不但可以用于等离子溅射方式镀金属膜,也可以用蒸发的方式得到碳或者其他金属单质的薄膜。仪器元件高度集成化,在同一个腔体内即实现了两种镀膜功能;该小型二合一镀膜仪采用高纯石英腔体作真空腔体,镀膜过程完全可见。仪器标配双极旋片真空泵,能够快速达到1.0E-1Pa的真空度,可满足大多数蒸发镀膜实验和二极溅射实验所需的真空环境。本小型二合一镀膜仪体积小能够置于试验台上使用,一机多用,性价比突出,非常适合各大高校及研究机构选用。


产品名称
小型等离子溅射和蒸发二合一镀膜仪
产品型号
TN-EVS180G-LV
主要特点

  • 等离子溅射和蒸发二合一,一机多用,性价比突出
  • 高纯石英腔体作真空腔体,镀膜过程完全可见
  • 采用高纯石英腔体作真空腔体,镀膜过程完全可见。
  • 仪器标配双极旋片真空泵,能够快速达到1.0E-1Pa的真空度
技术参数
  • 样品台:直径80mm, 至蒸发源距离 20mm~50mm 可调
  • 溅射头:直流、尺寸:2inch *1
  • 蒸发系统:钨丝蓝、 max1700℃、S型热电偶

  • 真空腔体:直径180mm*100mm、高纯石英、顶盖拆卸式 全向透明

  • 真空系统:机械泵(旋片泵:1.1 L/S)、极限真空:1.0E-1Pa、电阻规测量、KF16 抽气排气接口

  • 供电电源:AC;220V 50/60Hz
产品规格
尺寸:360mm*300mm*470mm、 重量:约20kg