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5英寸近距离蒸发镀膜炉是一款快速热处理炉,其炉腔体是-直径为12英寸的石英管。 此款设备专[门实际针对于热蒸发或于顶部和底部) , *大升温速率为20°C/s。采用PID方式进行温度调节,可设置30段升降温程序。仪器面板上安装有RS485接口,可配用控制软件将升温程序和温度曲线都导入到电脑中。对于探索新一代的薄膜太阳能电池,如CdTe.硫化物和钙钛矿结构太阳能电池,这是一款理想的实验工具。
蒸发镀膜炉技术参数：
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项目 |
明细 |
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供电电压 |
AC220V，50/60Hz |
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*大功率 |
10KW |
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结构 |
采用两个温度控制器,分别控制顶部和底部两组加热元件。安装有浮子流量计,可向真空腔体中通入气体 |
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基本参数 |
工作温度:*高800C推荐加热速率: ≤10C/s (每个温区单独加热) |
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控温精度 |
由两组红外灯管作为加热元件,分别位于顶部和底部为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率,加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中(不锈钢壳体采用316不锈钢.采用导热率较高的氮化铝陶瓷片(5" X5^ Xo. 5nn]厚度)作为载样台，以达到较好的加热均匀性●底部载样台.上可放入5° X5*的石墨坩埚来盛放蒸发原料 |
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温控系统 |
两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序每个温控系统都带有超温和断偶保护. PC通讯接口,软件可安装，可将控温程序和温度曲线导入到电脑中 |
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测温元件 |
两个K型热电偶. ,安装在顶部和底部，都与氮化铝陶瓷片相接触 |
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使用注意事项 |
炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-O.1MPa,使用时会更加**** 炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-O.1MPa,使用时会更 加**** 当炉体温度高于1000C时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 . 石英管的长时间使用温度< 1100C 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于 0.02MPa,必须立刻打开泄气阀，以防意外发生( 如炉管破裂,法兰飞出等) 进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击. 石英管的长时间使用温度< 1100C 0.02MPa,必须立刻打开泄气阀，以防意外发生( 如炉管破裂,法兰飞出等)
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开盖方式 |
电动升降上盖 |
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流量计 |
两路浮子流量计 |
