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本产品为桌面型小型蒸发镀膜仪，设备安装有钨丝篮蒸发源，可提供*大100A的镀膜电流，*大蒸发温度可达1800℃，能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀。真空腔体采用不不锈钢制作，配合分子泵组可达到5x10-5Pa极限真空，能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境；同时设备采用高罐体及水冷样品台设计，能够减少蒸发源对样品的热辐射，保证样品的表面不超温，维持在室温水平，有效防止样品被热蒸发的高温损坏，尤其适合对各种聚合物薄膜样品进行镀膜。
桌面型小型蒸发镀膜仪技术参数：
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产品名称 |
桌面型水冷样品台蒸发镀膜仪 |
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产品型号 |
CY-EVP195S-2S-WT（T高罐体tall；w水冷样品台 water） |
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安装条件 |
1、使用环境温度 25℃±15℃，湿度 55%Rh±10%Rh； 2、设备供电：AC220V，50Hz，必须有良好接地； 3、额定功率：2500w； 4、设备用气：设备腔室内需充注氩气清洗，需客户自备氩气，纯 度 ≥99.99%； 5、摆放工作台尺寸要求 600mm×600mm×700mm，承重 70kg 以上； 6、摆放位置要求通风。 |
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技术参数 |
1、 蒸发源数量：2个，每个蒸发源均配挡板； 2、 蒸发源电压：10V 3、 蒸发电流 0～100A 连续可调 4、 配 2 个钨舟、2个钨丝篮； 5、 不锈钢水冷旋转上置样品台,直径为100mm，旋转速度1~20rpm连续可调； 6、 样品与蒸发源的距离为 300mm ； 7、 样品台水冷接口为φ6mm快插接头，需配循环水冷机使用； 8、 真空腔体为不锈钢腔体其外径为195mm，内径为185mm，高度为350mm； 9、 配有带挡板的石英观察窗，尺寸为φ60mm 10、 真空腔体抽气接口为 KF40； 11、 进气接口为 1/4 英寸双卡套接头，默认配不锈钢微调阀以调节进气量； 12、 显示屏为7英寸彩色触摸屏； 13、 可调节蒸发电流，可设置蒸发**电流值、**真空值； 14、 **保护：过流、真空过低自动切断蒸发电流； 15、 极限真空：5x10-5Pa(搭配分子泵)； 16、 真空测量为电阻规真空计，其量程为：1～105Pa |
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注意事项 |
1、为充分发挥腔体的真空性能，建议搭配分子泵组使用。 2、建议选购CW3000水冷机或更好的循环水冷机 |
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可选配件 |
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厚监测仪 |
1、膜厚分辨率：0.0136Å（铝） 2、膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置， 材料应力，温度和密度 3、测量速度：100ms-1s/次，可设置测量范围：500000Å（铝） 4、标准传感器晶体：6MHz 5、适用晶片频率：6MHz 适用晶片尺寸：Φ14mm 安装法兰：CF35 |
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其他配件 |
1、 钨舟、钨丝篮； 2、 有机蒸发源（含石英舟和钨丝发热源）； 3、 蒸发源数量可选1~2组； 4、 CY-CZK103系列高性能分子泵组（含复合真空计，测量范围 10-5Pa~105Pa）； CY-GZK60系列小型分子泵组（含复合真空计，测量范围10-5Pa~102Pa） VRD-4双极旋片真空泵； 5、 CW3000循环水冷机（风冷，流量10L/min） 6、 KF40真空波纹管；长度可选0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架 7、 膜厚仪晶振片； |
