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本产品为桌面型小型蒸发镀膜仪，设备安装有钨丝篮蒸发源，可提供*大100A的镀膜电流，*大蒸发温度可达1800℃，能够满足各种常见金属的蒸镀及部分非金属蒸镀。真空腔体采用不不锈钢制作，配合分子泵组可达到5x10-5Pa极限真空，能够满足绝大部分材料蒸发所需的真空环境；同时设备采用高罐体及电动升降样品台的设计，能够满足不同样品和膜料的蒸镀要求；升降机构采用焊接波纹管密封，在保证密封性的情况下实现了样品台的升降动作。样品台的升降及旋转均可通过屏幕控制，操作简单直观，十分适合实验室使用。
小型蒸发镀膜仪技术参数：
产品名称
桌面型电动升降样品台蒸发镀膜仪
产品型号
CY-EVP195S-1S-LT（T高罐体tall；L升降 lift）
安装条件
1、使用环境温度 25℃±15℃，湿度 55%Rh±10%Rh；
2、设备供电：AC220V，50Hz，必须有良好接地；
3、额定功率：1200w；
4、设备用气：设备腔室内需充注氩气清洗，需客户自备氩气，纯
度 ≥99.99%；
5、摆放工作台尺寸要求 600mm×600mm×700mm，承重 70kg 以上；
6、摆放位置要求通风。
技术参数
1、 蒸发源数量：1个，配挡板；
2、 蒸发源电压：10V
3、 蒸发电流 0～100A 连续可调
4、 配 1个钨舟、1个钨丝篮；
5、 不锈钢电动升降样品台,直径为70mm，旋转速度1~20rpm连续可调；
6、 样品与蒸发源的距离为 190~300mm连续可调，真空状态下也可升降调节
；
7、 真空腔体为不锈钢腔体其外径为195mm，内径为185mm，高度为350mm；
8、 上盖采用ISO法兰密封，便于拆卸检查；腔体设有前开门，并配有φ60mm的带挡板石英观察窗；
9、 真空腔体抽气接口为 KF40；
10、 进气接口为 1/4 英寸双卡套接头，默认配不锈钢微调阀以调节进气量；
11、 显示屏为7英寸彩色触摸屏；
12、 可调节蒸发电流，可设置蒸发**电流值、**真空值；
13、 **保护：过流、真空过低自动切断蒸发电流；
14、 极限真空：5x10-5Pa(搭配分子泵)；
15、 真空测量为电阻规真空计，其量程为：1～105Pa
注意事项
1、为充分发挥腔体的真空性能，建议搭配分子泵组使用。
可选配件
厚监测仪
1、膜厚分辨率：0.0136Å（铝）
2、膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，
材料应力，温度和密度
3、测量速度：100ms-1s/次，可设置测量范围：500000Å（铝）
4、标准传感器晶体：6MHz
5、适用晶片频率：6MHz 适用晶片尺寸：Φ14mm 安装法兰：CF35
其他配件
1、 钨舟、钨丝篮；
2、 有机蒸发源（含石英舟和钨丝发热源）；
3、 蒸发源数量可选1~2组；
4、 CY-CZK103系列高性能分子泵组（含复合真空计，测量范围
10-5Pa~105Pa）；
CY-GZK60系列小型分子泵组（含复合真空计，测量范围10-5Pa~102Pa）
VRD-4双极旋片真空泵；
5、 CW3000循环水冷机（风冷，流量10L/min）
6、 KF40真空波纹管；长度可选0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架
7、 膜厚仪晶振片；
