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本产品为手套箱专用型小型蒸发镀膜仪，可提供*大100A的镀膜电流，*大蒸发温度可达1800℃，能够满足常见金属及部分非金属的蒸镀。真空腔体采用高纯石英制作，具有便于观察镀膜过程，易于清洗的优点；配合分子泵组可达到5x10-4Pa极限真空，能够有效保证蒸镀薄膜的纯净度和结合力。仪器体积小巧，经过小型化设计，可有效节约实验室空间，专为手套箱内使用设计；操作简单，对不同材料的适应性强，十分适合实验室选购。
小型蒸发镀膜仪技术参数：
产品名称
手套箱型小型蒸发镀膜仪
产品型号
CY-EVP180G-1S-G（glovebox 手套箱）
安装条件
1、使用环境温度 25℃±15℃，湿度 55%Rh±10%Rh；
2、设备供电：AC220V，50Hz，必须有良好接地；
3、额定功率：1200w；
4、设备用气：设备腔室内需充注氩气清洗，需客户自备氩气，纯
度 ≥99.99%；
5、摆放工作台尺寸要求 580mm×250mm×330mm，承重 30kg 以上；
6、摆放位置要求通风。
技术参数
1、 蒸发源电压：10V
2、 蒸发电流 0～100A 连续可调
3、 配 1 个钨舟、1 个钨丝篮；
4、 不锈钢样品台,直径为60mm；
5、 样品与蒸发源的距离为 20～55mm 连续可调；
6、 真空腔体为石英腔体其直径为180mm，高度为100mm；
7、 真空腔体抽气接口为 KF16；
8、 进气接口为 1/4 英寸双卡套接头，默认配不锈钢微调阀以调节进气量；
9、 显示屏为7英寸彩色触摸屏；
10、 可调节蒸发电流，可设置蒸发**电流值、**真空值；
11、 **保护：过流、真空过低自动切断蒸发电流；
12、 极限真空：5E-4Pa(搭配分子泵)；
13、 真空测量为电阻规真空计，其量程为：1～105Pa
注意事项
1、对于蒸镀对氧较敏感的材料，建议使用分子泵组。
2、为了达到较高的无氧环境，至少要用高纯惰性气体对真空腔体清洗 3 次。
可选配件
膜厚监测仪
1、膜厚分辨率：0.0136Å（铝）
2、膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，
材料应力，温度和密度
3、测量速度：100ms-1s/次，可设置测量范围：500000Å（铝）
4、标准传感器晶体：6MHz
5、适用晶片频率：6MHz 适用晶片尺寸：Φ14mm 安装法兰：CF35
其他配件
1、钨舟、钨丝篮；
2、有机蒸发源（含石英舟和钨丝发热源）
3、CY-CZK103系列高性能分子泵组（含复合真空计，测量范围10-5Pa~105Pa）；
CY-GZK60系列小型分子泵组（含复合真空计，测量范围10-5Pa~102Pa）
VRD-4双极旋片真空泵；
4、KF16真空波纹管；长度可选0.5m、1m、1.5m；KF25卡箍支架
5、膜厚仪晶振片；
