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近距离有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉，具有11"外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2"。近距离蒸发镀膜炉采用两组卤素加热器(顶部和底部)，zui大加热速率20ºC/s。两个30段精密温度控制器内置，精度为+/-1ºC。包括RS485端口和控制软件，允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。
近距离蒸发镀膜炉产品特点：
1、为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷装置上。
2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（Φ76mm×0.5mm），使得样品基片上的温度更加均匀。
3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸发料。
4、真空法兰通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔内真空度可达10-2torr，通过分子泵真空度可达10-5torr。
5、两个真空法兰都可以通过手动操作进行上下移动。
6、一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可以准确测量腔内真空度。
近距离蒸发镀膜炉技术规格：
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炉体结构和真空室 |
• 双加热器，两个温度控制器，双通道气体流量计集成在移动铝合金框架中 • 腔室由高纯度熔融石英管制成 • 石英管尺寸：11”OD / 10.8”ID×9”H • 真空法兰由316不锈钢制成 • 外形尺寸：850（长）×745（宽）×1615（高）mm |
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真空法兰 |
• 带有一个KFD-25真空端口和两个气体出口（需要1/4"管）的顶部法兰可以手动上下滑动，轻松装卸基板和蒸发材料 • 底部法兰有一个KFD-25真空口，带两个进气口（需要1/4"管）和针阀 • 法兰由双硅胶O形圈密封，可通过机械泵实现10E-2 Torr的真空压力，通过分子泵实现10E-5 Torr（不包括真空泵，请单独订购） • 精密防腐数字真空计是标准包装 |
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气体流量计 |
控制面板上安装了两个浮子表，测量范围为： • 16-160 mL / m • 400 - 4000 mL / m（用于清洗目的） |
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加热器和样品架 |
• 两个短波红外灯作为加热元件，用于快速加热。 • 两个加热器之间的距离可在10 - 50 mm之间调节 • 加热器由不锈钢制成，带有水冷夹套，可减少热辐射并实现快速冷却 • 3"圆形晶圆支架内置顶部加热器，可装载基板 • 包括一个高导热AlN板（3”直径×0.5mm厚），它应放在基板的背面，使其均匀加热 |
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温度控制器 |
• 两个精密数字温度控制器，30段可编程，可独立控制顶部和底部加热器 • 每个控制器都具有PID自动调谐功能，以保护加热器免受过冲和报警功能，以避免过热和热电偶断开 • 安装PC通信接口和软件记录温度曲线 |
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工作温度 |
每个加热器的zui高温度：<=650℃ 两个加热器之间的zui大温差：<=300℃取决于两个加热器之间的间距： • 间距30mm zui大。温差：315℃加热底部 • 间距40mm zui大。温差：350℃加热底部 • 间距50mm zui大。温差：仅在加热底部395℃ |
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加热和冷却速度 |
• 加热：<8ºC/ s（仅加热单个加热器） • 冷却：<10ºC/ s（600 - 100ºC）Max. |
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热电偶 |
两个K型热电偶（外露）分别安装在顶部和底部加热器上 |
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工作电压 |
208 - 240VAC，单相，20A空气断路器 |
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电力需求 |
总计2200W（每个加热器1100W） |
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保证 |
一年限制终身支持（石英管和加热灯等消耗部件不在保修范围内） |
