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近距离有机物蒸发镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉，具有11"外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离升华)薄膜涂层3英寸直径或2"×2"。近距离蒸发镀膜炉采用两组卤素加热器(顶部和底部)，zui大加热速率20ºC/s。两个30段精密温度控制器内置，精度为+/-1ºC。包括RS485端口和控制软件，允许通过PC操作炉子和温度曲线记录。它是研究新一代太阳能电池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池.
5英寸近距离蒸发镀膜炉技术参数：
产品名称
5英寸近距离蒸发镀膜炉
产品型号
TN-MSP350S-RTP
结构
1.采用两个温度控制器，分别控制顶部和底部两组加热元件。安装有浮子流量计，可向真空腔体中通入气体
2.真空腔体：350 mm Dia x 300 mm h，采用不锈钢制作
观察窗口： 100 mm diameter
开启方式：前开门式
3.真空法兰采用316不锈钢制造，电动升降
4.两个 5"x5" IR 加热板，间距可调。
5.顶部样品架可在 0 - 7 RPM 的速度下旋转
加热元件和载样台
由20个红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部
两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节
为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中（不锈钢壳体采用316不锈钢制作）
采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性
底部载样台上可放入5"×5"的石墨坩埚来盛放蒸发原料
此款仪器使用时需要配用一循环水冷机（KJ-5300型，16L/min)
温控系统
两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序
每个温控系统都带有超温和断偶保护
热电偶
两个K型热电偶，安装在顶部和底部，都与氮化铝陶瓷片相接触
工作温度
每个加热器的*高温度：RT-950℃。
两个加热器之间的*大温差：<= 300ºC 取决于两个加热器之间的间距：
间距 30mm *大。 温差：315ºC @ 仅加热底部
样品台转速：1-20RPM
流量计
两路浮子流量计
16 -160 mL/m
500 - 5000 mL/m
真空泵
配有一套分子泵系统,采用一键式操作
600L/S，1x10-5 Torr 以上
电压
208V 60HZ 三相
