产品名称：电子束蒸发镀膜仪

电子束蒸发镀膜仪以电子束蒸发方式镀膜设备，主要用于制备各种导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光学薄膜，微纳器件微加工，电镜样品预处理等，尤其适用蒸镀各种难熔金属材料。不仅可用于玻璃片、硅片等硬质衬底，也可用用于PDMS、PTFE、PI等柔性衬底上镀膜

电子束蒸发镀膜仪技术参数：

产品名称	电子束蒸发镀膜仪
产品型号	TN-EBH500-SS
样品台	外形尺寸	<150mm，样品台可旋转
	可调温度	≦500℃
电子枪	新型电子枪，6孔坩埚
加热灯	4只卤素加热灯用于除气，1个氖灯用于照明
真空腔体	腔体尺寸	Φ500*H500mm
	观察窗口	直径φ100mm
	腔体材质	304不锈钢
	开启方式	前开门式
膜厚测量	采用SQM160膜厚仪进行监控，涂层厚度不均匀度小于6%。
真空系统	前级泵	双极旋片泵，气体抽速1.1L/S
	次级泵	涡轮分子泵,气体抽速600L/S
	真空测量	复合真空计(电离规+电阻规)
	系统真空	5×10-5Pa
水冷系统	水压<2.5bar 水压监测
加热灯	4只卤素加热灯用于除气，1个氖灯用于照明
电极接口	带2路金属蒸发电极接口
控制系统	CYKY自研专业级控制器
其他参数	供电电源	AC380V,50Hz
	整机尺寸	1000mm×800mm×1500mm
	整机功率	20KW
	整机重量	350kg