产品详情
  • 产品名称:三温区CVD气相沉积系统

  • 产品型号:
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
该三温区CVD气相沉积系统主要用于真空烧结、气氛保护性烧结、真空镀膜 各种材料煅烧、需要温度梯度的各种CVD实验
详情介绍:

○ 产品介绍

该三温区CVD气相沉积系统主要用于真空烧结、气氛保护性烧结、真空镀膜 各种材料煅烧、需要温度梯度的各种CVD实验。


○ 适用范围

主要用于真空烧结、气氛保护性烧结、真空镀膜 各种材料煅烧、需要温度梯度的各种CVD实验。


○ 产品特点

1、造型优美 做工精细;
2、测温精准 控温稳定;
3、超高温加热元件 工作温度可高达1650℃;
4、产品丰富 有多种型号供您选择。


○ 技术参数

加热温度

三温区 独立控温

密封方式

水冷式真空法兰

温区长度

L:190mm;M:250mm;R:190mm;

真空系统

防返油式双极旋片泵

工作温度

L:1300℃;M:1600℃;R:1300℃;

系统真空

5~10Pa(如需更高真空度可选配其它泵)

加热炉管

高纯刚玉外径60mm,长度1300mm

制冷方式

9L水冷机

气体通道

三通道质量流量计

控温系统

多段可编程智能控温,控温精度±1℃

气体量程

A:100SCCM;B:300SCCM;C:500SCCM

供电电源

AC:220V 50Hz

真空检测

进口数字真空计 

备   注

如有其它要求 可按要求定制


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