产品名称：三温区CVD气相沉积系统

○ 产品介绍

该三温区CVD气相沉积系统主要用于真空烧结、气氛保护性烧结、真空镀膜 各种材料煅烧、需要温度梯度的各种CVD实验。

○ 适用范围

主要用于真空烧结、气氛保护性烧结、真空镀膜 各种材料煅烧、需要温度梯度的各种CVD实验。

○ 产品特点

1、造型优美 做工精细；
2、测温精准 控温稳定；
3、超高温加热元件 工作温度可高达1650℃；
4、产品丰富 有多种型号供您选择。

○ 技术参数

加热温度	三温区 独立控温	密封方式	水冷式真空法兰
温区长度	L:190mm;M:250mm;R:190mm;	真空系统	防返油式双极旋片泵
工作温度	L:1300℃;M:1600℃;R:1300℃;	系统真空	5～10Pa（如需更高真空度可选配其它泵）
加热炉管	高纯刚玉外径60mm，长度1300mm	制冷方式	9L水冷机
气体通道	三通道质量流量计	控温系统	多段可编程智能控温，控温精度±1℃
气体量程	A:100SCCM;B:300SCCM;C:500SCCM	供电电源	AC:220V 50Hz
真空检测	进口数字真空计	备   注	如有其它要求 可按要求定制

○ 免责声明

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