产品详情
  • 产品名称:1200℃单温区3路质量供气高真空CVD系统

  • 产品型号:TN-O1200-50IT-3Z-HV
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
1200℃单温区3路质量供气高真空CVD系统由单温区管式炉、三路质量流量计和高真空分子泵租组成。该1200℃单温区3路质量供气高真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握。
详情介绍:

TN-O1200-50IT-3Z-HV1200℃单温区3路质量供气高真空CVD系统由单温区管式炉、三路质量流量计和高真空分子泵组构成。管式炉由精密控温仪表进行PID控温,可编辑30段升降温程序,同时有过热和断偶保护功能。炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表,可以用来控制路管内的气氛环境。同时1200℃单温区3路质量供气高真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法,能够极大的提高您的实验效率,1200℃单温区3路质量流量计高真空CVD系统所配有的三路质量流量计,精度高可靠性强,可以准确混合1~3路气体,操作面板采用数字显示,直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。本系统还配有精密分子泵组,可以达到1.0E-3pa级别的真空度,较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。

应用范围:高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等,尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验


名称
1200℃单温区3路质量供气高真空CVD系统
型号
TN-O1200-50IT-3Z-HV
参数
  1. 1、供电电源:AC:220V 50/60Hz
  2. 2、炉管  材质:高纯石英; 尺寸:直径50mm(可选配60mm80mm100mm)、长度800mm(炉膛长度:440mm)
  3. 3、加热区:长400mm;  恒温区:长200mm
  4. 4、工作温度:0~1100℃; 控温精度:±1℃; 
  5. 5、控温模式:30段或50段程序控温
  6. 6、显示模式:LCD
  7. 7、密封方式 :304不锈钢真空法兰 ;法兰接口:1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头
  8. 8、可抽真空:4.4E-3Pa
  1. 9、供气系统:TN-3Z  3通道气体通道
         测量部件:气体质量流量计
         测量量程:A通道:0~100SCCM    H2气
                         B通道:0~300SCCM    N2气
                         C通道:0~500SCCM    Ar气
     备注:如需其它量程或气体种类,定货时需特别注明。根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计
        测量精度:±1.0%F.S
        管道耐压:3MPa
        工作压差:50~300KPa
        连接管道:304不锈钢
        控制阀门:304不锈钢针阀
        接口规格:进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
        供电电源:AC:220V 50/60Hz

  2. 10、排气系统:产品型号TN-GZK103-A
         分子泵 TN-600     前极泵:旋片泵;   
         抽气速率分子泵:600L/S   旋片泵:1.1L/S(  综合抽气性能:30分钟真空度可达:1.0E-3Pa) 
         抽气接口:KF40; 排气接口:KF16
         真空测量复合真空计:电阻规+电离规
         极限真空:1.0E-5Pa
         供电电源:AC220V 50/60Hz


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