产品名称：1200℃单温区3路质量供气低真空CVD系统

TN-O1200-50IT-3Z-LV 1200℃单温区3路质量供气低真空CVD系统由单温区管式炉、三路浮子流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉由精密控温仪表进行PID控温，可编辑30段升降温程序，同时有过热和断偶保护功能。炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表，可以用来控制路管内的气氛环境。同时1200℃单温区3路质量供气低真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。1200单温区3路供气低真空CVD系统所配有的三路质量流量计，精度高可靠性强，可以准确混合1~3路气体，操作面板采用数字显示，直观高效。若客户有特殊需要也可联系技术人员定制任意数量的气路。

应用范围：高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。

名称	1200℃单温区3路质量供气低真空CVD系统
型号	TN-O1200-50IT-3Z-LV
参数	1、供电电源：AC:220V 50/60Hz 2、炉管  材质：高纯石英; 尺寸：直径50mm（可选配60mm、80mm、100mm）、长度800mm（炉膛长度：440mm） 3、加热区:长400mm;  恒温区:长200mm 4、工作温度:0～1100℃; 控温精度:±1℃;  5、控温模式:30段或50段程序控温 6、显示模式:LCD 7、密封方式 :304不锈钢真空法兰 ;法兰接口:1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头 8、可抽真空：4.4E-3Pa 9、供气系统：TN-3Z  3通道气体通道      测量部件：气体质量流量计      测量量程：A通道：0～100SCCM    H2气                      B通道：0～300SCCM    N2气                      C通道：0～500SCCM    Ar气  备注：如需其它量程或气体种类，定货时需特别注明。根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。     测量精度：±1.0%F.S     管道耐压：3MPa     工作压差：50～300KPa     连接管道：304不锈钢     控制阀门：304不锈钢针阀     接口规格：进气口和出气口为1/4英寸卡套接头     供电电源：AC:220V 50/60Hz 10、排气系统：旋片泵       抽气速率： 旋片泵：1.1L/S      抽气/排气接口:KF16      真空测量复合真空计：电阻规      极限真空:1.0E-1Pa      供电电源：AC220V 50/60Hz
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