产品详情
  • 产品名称:1200℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统

  • 产品型号:TN-O1200-50IT-3F-LV
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
1200℃单温区3路浮子供气低真空CVD系统由单温区管式炉、三路浮子流量计和双极旋片真空泵组成。管式炉由精密控温仪表进行PID控温,可编辑30段升降温程序,同时有过热和断偶保护功能。炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表,可以用来控制炉管内的气氛环境。同时管式炉采用高清真彩触控屏操作,简单易上手,即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法,能够极大的提高您的实验效率。
详情介绍:


   1200单温区3路浮子供气低真空CVD系统所配有的三路浮子流量计,可以混合1~3路气体,较为准确的配制出实验所需的混合气体;另有一压力表安装在浮子流量计正面,可以监测气体压力及混合槽压力。

   适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等,尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。

1200单温区3路浮子供气低真空CVD系统技术参数:

1200单温区3路浮子供气低真空CVD系统

产品型号

TN-O1200-50IT

炉管材质

高纯石英

炉管直径

50mm(可选配60mm80mm100mm

炉管长度

1000mm

炉膛长度

440mm

加热区长

400mm

恒温区长

200mm

工作温度

01100℃

控温精度

±1

控温模式

30段或50段程序控温

显示模式

LCD

密封方式

304不锈钢真空法兰

法兰接口

1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头

可抽真空

4.4E-3Pa

供电电源

AC:220V 50/60Hz

产品型号

CY-3F

气体通道

3通道

测量部件

气体浮子流量计

测量量程

A通道:0100ml/min    H2

备注:如需其它量程或气体种类,定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。

 

B通道:16160ml/min    N2

C通道:25250ml/min    Ar

测量精度

±2.0%

管道耐压

3MPa

工作压差

50300KPa

连接管道

304不锈钢

控制阀门

304不锈钢针阀

接口规格

进气口和出气口为1/4英寸卡套接头

机械泵

旋片泵

抽气速率

1.1L/S

排气接口

KF16

真空测量

电阻规

极限真空

1.0E-1Pa

供电电源

AC:220V 50/60Hz

抽气接口

KF16

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