0371-5536 5392 0371-5519 9322
产品详情
简单介绍：
该套CVD系统主要由：材料加热、真空获取、气体测量和等离子发生器四大部分构成。可以满足日常的大多数CVD实验和各种科研要求。该CVD系统是材料制备过程中的理想之选。
详情介绍：
○ 产品介绍
一体式CVD系统设计紧凑，使用方便。特别是丰富的图文界面，即使您是**次操作，该系统也能顺利引导您很快掌握该CVD系统的使用和操作，您根本无需专业学习，为您节省大量的科研时间，真正做到事倍功半！
○ 适用范围
可以满足日常的大多数CVD实验和各种科研要求。是材料制备过程中的理想之选。
○ 产品特点
1、丰富的图文信息：全尺寸液晶图文界面
2、系统高度集成：各个部分均由软件协同进行数据采集、交换、处理、输出
3、可使实验步骤程序化、自动化
○ 技术参数
工作电压：AC220/AC110V
工作频率：50Hz/60hz
工作温度：25℃～1100℃
测量精度：0.1℃
控温精度：±1℃
加热区长：400mm
恒温区长：200mm
射频频率：13.56MHz
射频功率：0～500W（可调节）
匹配模式：自动匹配
气体通道：3通道
气体测量：质量流量计
量程范围：0～500SCCM
真空设备：分子泵组
真空测量：复合真空计
○ 免责声明
本站产品介绍内容（包括产品图片、产品描述、技术参数等），仅供参考。泰诺公司产品在不断更新，网站内容可能由于更新不及时，或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异，请与本公司销售人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺，泰诺公司会不定期完善和修改网站任何信息，恕不另行通知。
