产品详情
  • 产品名称:CVD系统

  • 产品型号:TN-O1200-80MPECVD-3Z
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
该套CVD系统主要由:材料加热、真空获取、气体测量和等离子发生器四大部分构成。可以满足日常的大多数CVD实验和各种科研要求。该CVD系统是材料制备过程中的理想之选。
详情介绍:

○ 产品介绍

一体式CVD系统设计紧凑,使用方便。特别是丰富的图文界面,即使您是**次操作,该系统也能顺利引导您很快掌握该CVD系统的使用和操作,您根本无需专业学习,为您节省大量的科研时间,真正做到事倍功半!


○ 适用范围

可以满足日常的大多数CVD实验和各种科研要求。是材料制备过程中的理想之选。


○ 产品特点

1、丰富的图文信息:全尺寸液晶图文界面

2、系统高度集成:各个部分均由软件协同进行数据采集、交换、处理、输出

3、可使实验步骤程序化、自动化


○ 技术参数

工作电压:AC220/AC110V   

工作频率:50Hz/60hz

工作温度:25℃~1100


测量精度:0.1

控温精度:±1℃

加热区长:400mm

恒温区长:200mm

射频频率:13.56MHz

射频功率:0500W(可调节)

匹配模式:自动匹配

气体通道:3通道

气体测量:质量流量计

量程范围:0~500SCCM

真空设备:分子泵组

真空测量:复合真空计



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