产品详情
  • 产品名称:PECVD石墨烯薄膜制备系统

  • 产品型号:
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
PECVD石墨烯薄膜制备系统借助13.56MHz的射频输出等使含有薄膜组成原子的气体电离,在真空腔体内形成等离子体,利用等离子体的强化学活性,改善反应条件,使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。PECVD石墨烯薄膜制备系统设备可以用于:石墨烯制备、硫化物制备、纳米材料制备等多种实验场所。
详情介绍:

○ 产品介绍

PECVD石墨烯薄膜制备系统借助13.56MHz的射频输出等使含有薄膜组成原子的气体电离,在真空腔体内形成等离子体,利用等离子体的强化学活性,改善反应条件,使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。PECVD石墨烯薄膜制备系统设备可以用于:石墨烯制备、硫化物制备、纳米材料制备等多种实验场所。


○ 适用范围

PECVD石墨烯薄膜制备系统设备可以用于:石墨烯制备、硫化物制备、纳米材料制备等多种实验场所。


○ 技术参数

多温区加热系统 

序号 

功能名称 

技术要求 

01 

工作温度 

室温~1200℃,长期工作温度≦1100℃ 

02 

加热区长度 

三温区加热,各温区可独立控温,恒温区长度为550 

03 

控制模式 

30段智能PID 多段程序控温 

04 

控温精度 

±1℃ 

05 

升温速率 

0~20℃/min 

06 

测温元件 

3支K型热电偶 

07 

温控保护 

具有超温和断偶保护功能 

08 

炉管 

高纯石英管,能耐长期1100℃工作温度 

09 

炉管尺寸 

石英管外径100mm 

10 

炉膛结构 

开启式 

11 

炉膛材料 

进口纤维,保温性能好,反射率高,温场均匀 

12 

密封方式 

真空不锈钢水冷法兰 

13 

阀门 

KF25挡板阀 

14 

电源 

380V/220V  50Hz 

15 

温度记录 

可以实现温度曲线记录 

16 

炉壳温度 

≦45℃ 

单温区加热系统 

序号 

功能名称 

技术要求 

01 

工作温度 

室温~1200℃,长期工作温度≦1100℃ 

02 

加热区长度 

单温区加热,恒温区长度为200mm 

03 

控制模式 

30段智能PID 多段程序控温 

04 

控温精度 

±1℃ 

05 

升温速率 

0~20℃/min 

06 

测温元件 

K型热电偶 

07 

温控保护 

具有超温和断偶保护功能 

08 

炉管 

高纯石英管,能耐长期1100℃工作温度 

09 

炉管尺寸 

石英管外径100mm 

10 

炉膛结构 

开启式 

11 

炉膛材料 

进口纤维,保温性能好,反射率高,温场均匀 

12 

密封方式 

真空不锈钢水冷法兰 

13 

阀门 

KF25挡板阀 

14 

电源 

380V/220V  50Hz 

15 

温度记录 

可实现温度曲线记录 

16 

炉壳温度 

≦45℃ 

RF输出系统 

序号 

功能名称 

技术要求 

01 

功率范围 

0~500W连续可调 

02 

工作频率 

13.56MHz+0.005% 

03 

工作模式 

连续输出 

04 

显示模式 

LCD 

05 

匹配阻抗范围 

能够匹配,起辉辉光均匀布满三温区炉管 

06 

功率稳定度 

≦2W 

07 

正常工作反射功率 

≦3W 

08 

较大反射功率 

≦70W 

09 

谐波分量 

≦-50dBc 

10 

整机效率 

≥70% 

11 

功率因素 

≥90% 

12 

供电电压/频率 

单相交流(187V~253V) 频率50/60HZ 

13 

控制模式 

内控/PLC 模拟量/RS232/485 通讯 

14 

电源保护设置 

DC 过流保护,功放过温保护,反射功率保护 

15 

冷却方式 

强制风冷 

16 

起辉长度 

在Ar下射频电源与线圈配合起辉辉光需能布满整个三温区的炉体长度 

气体流量控制 

序号 

功能名称 

技术要求 

01 

四路质子流量计 

北京七星华创,质子流量计 

02 

流量范围 

MFC1量程:0~200sccm  MFC2量程:0~200sccm 

MFC3量程:0~500sccm  MFC4量程:0~500sccm 

分别对应气体 H2、CH4、N2、Ar 

03 

测量精度 

±1.5%F.S. 

04 

重复精度 

±0.2% FS 

05 

线性精度 

±1%F.S. 

06 

响应时间 

≤4sec 

07 

工作压力 

-0.15MPa0.15MPa 

08 

流量控制 

液晶触摸屏控制,数字显示,每路气体含有针阀单独控制 

09 

进气接口 

可接1/4NPS或者外径6mm不锈钢管 

10 

出气接口 

可接1/4NPS或外径6mm不锈钢管 

11 

连接方式 

双卡套接头 

12 

工作温度 

5~45℃ 

13 

气体预混 

配气体预混装置 

真空要求 

序号 

功能名称 

技术要求 

01 

真空泵 

配置进口或国产真空泵,炉管背景真空达5×10-1 Pa 

02 

系统漏率 

≤1.4×10-3 Pa.L/s 

03 

真空测量 

Inficon防腐蚀超纯陶瓷传感器 

04 

真空测量范围 

0.01Pa1000Pa,测量精度0.2% 

05 

真空压力表 

配置一个通用真空压力表用于系统真空粗测 

06 

连接管道 

不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰与真空泵连接 

轨道功能 

序号 

功能名称 

技术要求 

01 

滑轨长度 

2.5米~3米,能实现三温区炉子一个炉位长度的滑动,实现快速升降温 

02 

主要参数 

手动滑动,可实现管式炉和等离子体发生器的滑动控制,达到快速降温,射频放射调节 

03 

特殊定制 

轨道上安装方便拆卸的法兰支架,用以支撑炉管长度改变时的端口法兰;单温区炉子可以拆装至滑轨上与等离子体源配合使用;等离子体发生器可以拆卸


○ 滑轨需要满足的要求

1)常用方式是:等离子体发生器+三温区炉配合,其中导轨可以让三温区炉有一个炉位的滑动;

2)希望的搭配使用方式1是:等离子体发生器+单温区管式炉;

3)希望的搭配使用方式2是:单温区管式炉+等离子体发生器+三温区炉(此时三温区炉不需要滑动快速升降温)

需要做到单温区炉体能够比较方便地装到(1)方式的滑轨上,并且石英管两端的法兰支架可以在导轨长度内调节,能满足不同炉管长度条件下对法兰的支撑。



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