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  • 产品名称:​单温区旋转PECVD石墨烯制备

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  • 产品厂商:其它品牌
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简单介绍:
​单温区旋转PECVD石墨烯制备广泛用于石墨烯制备,颗粒包覆等科学实验上,该单温区旋转PECVD石墨烯制备适合颗粒型样品实验,通过机械传动能够控制工作管360°不间断连续旋转,转速可调,使得管内物料不断的被搅拌混合。
详情介绍:

单温区旋转PECVD石墨烯制备

安装有真空自动投料器,炉管尾部预留KF40接口可以连接收料罐。投料器采用螺杆进料,可以以额定的速率将粉料送入炉管,投料速率可通过调节转速来更改。可实现在气氛保护的环境下连续对粉末材料用PECVD方法进行包裹和修饰。收料罐可以在气氛保护环境下对处理好的料粉进行收集。

设备配有100W频率13.56MHz的视频电源。能够在真空中产生等离子体。高能等离子体能够活化样品表面,有效的增强反应效果,提高反应速率,这种辅助方法广泛用于石墨烯制备,颗粒包覆等科学实验上。

本设备特别适合颗粒型样品实验,通过机械传动能够控制工作管360°不间断连续旋转,转速可调,使得管内物料不断的被搅拌混合,充分与气体和等离子体接触,使样品的反应更加均匀稳定。


技术参数:

射频电源

 

输出功率

150W

输出精度

±1%

射频频率

13.56MHz

射频稳定度

±0.005%

冷却方式

风冷

1200℃双温区管式炉

供电电压

AC220V,50Hz

*大功率

2KW

加热温区

单个温区200mm

工作温度

*高1200℃,连续运行温度应≤1100℃

控温精度

±1℃

控温方式

AI-PID 30段工艺曲线,可存储多条

三温区独立控制,带有过热和断偶保护

炉管材质

高纯石英

炉管尺寸

φ50x800mm

密封方式

真空不锈钢法兰、KF16法兰

可调转速

0-20rpm

倾斜角度

0-15°

真空泵

旋片机械泵

极限真空度

1.0E-1Pa

进料方式

真空漏斗加螺杆进料