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  • 产品名称:卷对卷式PECVD

  • 产品型号:
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
卷对卷式PECVD是等离子增强型化学气相沉积设备,该卷对卷式PECVD适合用于石墨烯在卷材上的连续生长
详情介绍:

卷对卷式PECVD是等离子增强型化学气相沉积设备(PECVD),并加装了收放卷装置。本设备可用于线材的连续化热处理工艺中,如碳纤维制备、合金及其他材料线材改性处理等应用中。也适合用于石墨烯在卷材上的连续生长。

设备含卷对卷收放卷运动模块、1200℃双温区可开启式管式炉模块、PE等离子增强模块、真空系统以及三路质子流量计供气系统五部分,整套体系可在真空/气氛保护环境下工作。收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节,可自动纠正转速偏差,保证样品的速度稳定不走样,从而保证了实验的准确性

 

卷对卷式PECVD技术参数:

1200℃双温区管式炉

供电电压

AC220V,50Hz

*大功率

3KW

加热温区

双温区 200mm+200mm

工作温度

≤1200℃

控温精度

±1℃

控温方式

AI-PID 30段工艺曲线,可存储多条

炉管材质

高纯石英

炉管尺寸

φ80mm I.D x 1400mm L

密封方式

不锈钢真空法兰

真空测量

电阻规

工作气体

氢气、氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体

真空泵

双极旋片式真空泵

极限真空度

10^-1Pa

三路质量流量计

阀门类型

不锈钢针阀

气路数量

三路

承压范围

0.05~0.3MPa

量程

1~100 SCCM(Ar)

1~200 SCCM(H2

1~500 SCCM (CH4)

流量控制范围

±1.5%

混气罐容积

750mL

气路材料

304不锈钢

管道接口

6.35mm卡套接头

供电电源

AC220V 50Hz

S射频电源

输出功率

500W

输出精度

±1%

射频频率

13.56MHz

射频稳定度

±0.005%

冷却方式

风冷