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产品详情
简单介绍：
单靶等离子溅射仪（基础型）采用二极溅射方式，广泛用于场发射扫描电镜或透射电镜样品制备或高质量镀膜试验。该单靶等离子溅射仪（基础型）是基于PLC的强大控制系统，全部触摸屏操作，可手动、半自动控制、全自动控制。
详情介绍：
○ 产品介绍：
TN-PSP180G-1TA 本型号小型等离子溅射仪，采用二级溅射方式，广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺，镀膜过程中无高温，不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统，全部触摸屏操作，体积小巧造型美观，是实验室镀膜试验的*佳选择。
○ 主要功能：
1、精细、超精细离子溅射导电膜制备；专业级金属膜层试验。
2、样品等离子刻蚀清洗
○ 主要参数：
| 样品台 | 尺寸 | 100mm |
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到靶面距离 | 20-35mm 可调 |
| 等离子溅射靶 | 数量 | 2英寸*1 |
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冷却方式 | 自然冷却 |
| 真空腔体 | 腔体尺寸 | φ180*210mm |
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观察窗口 | 全向可视 |
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腔体材料 | 高纯石英 |
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开启方式 | 顶盖拆卸式 |
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上下盖材料 | 304不锈钢 |
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抽气接口 | KF16 |
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进气接口 | 1/4英寸卡套接头 |
| 电源配置 | 数量 | 直流电源*1 |
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输出功率 | *大150W |
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溅射电压 | 1200V |
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*大溅射电流 | 50mA |
| 真空系统 | 真空泵类型 | 双极旋片真空泵 |
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抽气接口 | KF16 |
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抽气速率 | 1.1L/s(4m³/h) |
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极限真空度 | ≥0.1Pa |
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真空测量 | 电阻真空规 |
| 其他 | 供电电源 | AC220V 50Hz |
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整机功率 | 1.5kW |
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整机尺寸 | 500mm*320*470mm |
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整机重量 | 30kg |
○ 免责声明
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