产品详情
  • 产品名称:小型等离子溅射仪

  • 产品型号:TN-PDM-V180
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
TN-PDM-V180型小型等离子溅射仪,采用二极溅射方式,广泛用于场发射扫描电镜或透射电镜样品制备或高质量镀膜试验。采用阳极保护栅网,实现镀膜过程中样品表面保持常温状态,没有热损伤。该小型等离子溅射仪是基于PLC的强大控制系统,全部触摸屏操作,可手动、半自动控制、全自动控制。
详情介绍:

○ 产品介绍:

TN-PDM-V180型小型等离子溅射仪,采用二极溅射方式,广泛用于场发射扫描电镜或透射电镜样品制备或高质量镀膜试验。采用阳极保护栅网,实现镀膜过程中样品表面保持常温状态,没有热损伤。该小型等离子溅射仪是基于PLC的强大控制系统,全部触摸屏操作,可手动、半自动控制、全自动控制。

主要功能:

1、精细、超精细离子溅射导电膜制备;专业级金属膜层试验。

2、样品等离子刻蚀清洗


主要特点:

1、溅射速度快。对于扫描电镜或透射电镜制样,抽真空-溅射-泄真空15分钟即可完成。

2、镀膜质量高,可获得精细晶粒膜层,膜层结合力强。可使用结晶更细的金属靶材。

3、对样品无热损伤的冷溅射。

4、基于PLC的强大控制系统,全部触摸屏操作,可手动、半自动控制、全自动控制。

5、真空高压互锁机制

6、标准的操作软件,实时监控镀膜电流、镀膜真空、快速的技术支持,节约用户费用。

7、样品室: φ180mm X 150mm(H) 石英真空室

8、可选溅射 金或金钯合金φ50mmX0.1mm

9、样品台: φ50mm 高度可任意调节

10、溅射电流: 0-100mA

11、真空规: 皮拉尼

12、溅射气体: 氩气


○  选配件:

Pfeiffer 70 lps涡轮分子泵

15分钟抽到5E-6Pa 极限真空。获得超高真空环境,提高镀膜质量

膜厚监控: 石英晶体膜厚监控器

样品台: φ75mm 旋转样品台

φ100mm旋转样品台(选此台,膜厚监控器无法安装)

旋转倾斜样品台 (选择此台,无法实现样品刻蚀功能)

 

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