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  • 产品名称:单靶等离子溅射仪(基础版)

  • 产品型号:TN-PSP180G-1TA
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
单靶等离子溅射仪(基础型)采用二极溅射方式,广泛用于场发射扫描电镜或透射电镜样品制备或高质量镀膜试验。该单靶等离子溅射仪(基础型)是基于PLC的强大控制系统,全部触摸屏操作,可手动、半自动控制、全自动控制。
详情介绍:

○ 产品介绍:

TN-PSP180G-1TA 本型号小型等离子溅射仪,采用二级溅射方式,广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺,镀膜过程中无高温,不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统,全部触摸屏操作,体积小巧造型美观,是实验室镀膜试验的*佳选择

主要功能:

1、精细、超精细离子溅射导电膜制备;专业级金属膜层试验。

2、样品等离子刻蚀清洗

主要参数:

样品台 尺寸 100mm

到靶面距离 20-35mm 可调
等离子溅射靶 数量 2英寸*1

冷却方式 自然冷却
真空腔体 腔体尺寸 φ180*210mm

观察窗口 全向可视

腔体材料 高纯石英

开启方式 顶盖拆卸式

上下盖材料 304不锈钢

抽气接口 KF16

进气接口 1/4英寸卡套接头
电源配置 数量 直流电源*1

输出功率 *大150W

溅射电压 1200V

*大溅射电流 50mA
真空系统 真空泵类型 双极旋片真空泵

抽气接口 KF16

抽气速率 1.1L/s(4m³/h)

极限真空度 ≥0.1Pa

真空测量 电阻真空规
其他 供电电源 AC220V 50Hz

整机功率 1.5kW

整机尺寸 500mm*320*470mm

整机重量 30kg

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