产品详情
  • 产品名称:三靶等离子溅射镀膜仪(基础版)

  • 产品型号:TN-PSP180G-3TA
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
三靶等离子溅射镀膜仪(基础版)体积小巧造型美观,是实验室镀膜试验的*佳选择。三靶等离子溅射镀膜仪(基础版)用于金属溅射镀膜,尤其适合金银铜等贵金属的镀膜。
详情介绍:

TN-PSP180G-3TA三靶等离子溅射镀膜仪(基础版)是我公司自主研发的一款高性价比等离子溅射镀膜设备,具有结构紧凑,简单易用,集成度高,设计感强的优势。三靶等离子溅射镀膜仪等离子溅射靶为2英寸的标准尺寸,配备3个溅射靶头,以满足镀单层膜或者多种材料多层膜的不同实验需求。仪器所配电源为150W直流高压电源,可用于金属溅射镀膜,尤其适合金银铜等贵金属的镀膜。


产品名称
三靶等离子溅射镀膜仪-基础版
产品型号
TN-PSP180G-3TA
主要特点
  • 自主研发、高性价比
  • 具有结构紧凑,简单操作
  • 2英寸标准尺寸等离子溅射靶,
  • 150W直流高压电源,金属溅射镀膜
技术参数
  1. 1、样品台:尺寸φ100mm;到靶面距离:20-35mm 可调
  2. 2、直流溅射头:数量2” ×3  
  3. 3、真空腔体:尺寸:φ180mm × 210mm、材料高纯石英、全向透明、顶盖拆卸式
  4. 4、真空系统:双极旋片真空泵 ;抽气速率:旋片泵:1.1L/S;极限真空:10E-1Pa
        抽气/排气接口:KF16; 真空测量:电阻规;
  5. 5、溅射电源配置:直流电源 ×1;max输出功率:150W,溅射电压1200V,max大溅射电流50mA
产品规格
尺寸500mm × 320mm × 470mm;重量30kg ;供电电压:AC220V,50Hz;功率1500W

1.镀膜仪配有通气接口,可通入保护性气体,若客户需要通入混合气体,联系工作人员自行配置高精度质量流量计以满足实验需要。

2.本镀膜仪标配为双极旋片真空泵,其具有体积小,抽真空快,操作简单的优势,若客户有进一步提升真空度的需要,可以联系技术人员选配分子泵组组成高真空系统。


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