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  • 产品名称:三靶等离子溅射镀膜仪

  • 产品型号:TN-PSP180G-3TA
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
三靶等离子溅射镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比等离子溅射镀膜设备,具有结构紧凑,简单易用,集成度高,设计感强的优势。三靶等离子溅射镀膜仪等离子溅射靶为2英寸的标准尺寸,配备3个溅射靶头,以满足镀单层膜或者多种材料多层膜的不同实验需求。
详情介绍:
         三靶等离子溅射镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比等离子溅射镀膜设备,具有结构紧凑,简单易用,集成度高,设计感强的优势。三靶等离子溅射镀膜仪等离子溅射靶为2英寸的标准尺寸,配备3个溅射靶头,以满足镀单层膜或者多种材料多层膜的不同实验需求。仪器所配电源为150W直流高压电源,可用于金属溅射镀膜,尤其适合金银铜等贵金属的镀膜。镀膜仪配有通气接口,可以通入保护性气体,若客户需要通入混合气体,可以联系工作人员自行配置高精度质量流量计以满足实验需要。

        本镀膜仪标配为双极旋片真空泵,其具有体积小,抽真空快,操作简单的优势,若客户有进一步提升真空度的需要,可以联系技术人员选配分子泵组组成高真空系统。

三靶等离子溅射镀膜仪技术参数:

小型等离子溅射镀膜仪

样品台

尺寸

φ138mm

控温精度

±1

加热温度

zui高500

转速

1-20rpm可调

直流溅射头

数量

2” ×3 


真空腔体

腔体尺寸

φ180mm × 150mm

观察窗口

全向透明

腔体材料

高纯石英

开启方式

顶盖拆卸式

真空系统

机械泵

旋片泵

抽气接口

KF16

真空测量

电阻规

排气接口

KF16

极限真空

10E-1Pa

供电电源

AC;220V 50/60Hz

抽气速率

旋片泵:1.1L/S

电源配置

数量

直流电源 ×1

zui大输出功率

150W

其他

供电电压

AC220V,50Hz

整机尺寸

360mm × 300mm × 470mm

整机功率

800W

整机重量

30kg


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