产品名称：三靶等离子溅射镀膜仪（基础版）

TN-PSP180G-3TA三靶等离子溅射镀膜仪（基础版）是我公司自主研发的一款高性价比等离子溅射镀膜设备，具有结构紧凑，简单易用，集成度高，设计感强的优势。三靶等离子溅射镀膜仪等离子溅射靶为2英寸的标准尺寸，配备3个溅射靶头，以满足镀单层膜或者多种材料多层膜的不同实验需求。仪器所配电源为150W直流高压电源，可用于金属溅射镀膜，尤其适合金银铜等贵金属的镀膜。

产品名称	三靶等离子溅射镀膜仪-基础版
产品型号	TN-PSP180G-3TA
主要特点	自主研发、高性价比 具有结构紧凑，简单操作 2英寸标准尺寸等离子溅射靶， 150W直流高压电源，金属溅射镀膜
技术参数	1、样品台：尺寸φ100mm；到靶面距离：20-35mm 可调 2、直流溅射头：数量2” ×3   3、真空腔体：尺寸：φ180mm × 210mm、材料高纯石英、全向透明、顶盖拆卸式 4、真空系统：双极旋片真空泵 ；抽气速率：旋片泵：1.1L/S；极限真空：10E-1Pa     抽气/排气接口：KF16； 真空测量：电阻规； 5、溅射电源配置：直流电源 ×1；max输出功率:150W，溅射电压1200V，max大溅射电流50mA
产品规格	尺寸500mm × 320mm × 470mm；重量30kg ；供电电压：AC220V,50Hz；功率1500W

1.镀膜仪配有通气接口，可通入保护性气体，若客户需要通入混合气体，联系工作人员自行配置高精度质量流量计以满足实验需要。

2.本镀膜仪标配为双极旋片真空泵，其具有体积小，抽真空快，操作简单的优势，若客户有进一步提升真空度的需要，可以联系技术人员选配分子泵组组成高真空系统。

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