产品详情
  • 产品名称:三靶等离子溅射镀膜仪

  • 产品型号:TN-PSP180G-3TA
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
三靶等离子溅射镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比等离子溅射镀膜设备,具有结构紧凑,简单易用,集成度高,设计感强的优势。三靶等离子溅射镀膜仪等离子溅射靶为2英寸的标准尺寸,配备3个溅射靶头,以满足镀单层膜或者多种材料多层膜的不同实验需求。
详情介绍:

TN-PSP180G-3TA三靶等离子溅射镀膜仪是我公司自主研发的一款高性价比等离子溅射镀膜设备,具有结构紧凑,简单易用,集成度高,设计感强的优势。三靶等离子溅射镀膜仪等离子溅射靶为2英寸的标准尺寸,配备3个溅射靶头,以满足镀单层膜或者多种材料多层膜的不同实验需求。仪器所配电源为150W直流高压电源,可用于金属溅射镀膜,尤其适合金银铜等贵金属的镀膜。


产品名称
三靶等离子溅射镀膜仪
产品型号
TN-PSP180G-3TA
主要特点
  • 自主研发、高性价比
  • 具有结构紧凑,简单操作
  • 2英寸标准尺寸等离子溅射靶,
  • 150W直流高压电源,金属溅射镀膜
技术参数
  1. 1、样品台:尺寸φ138mm;加热温度:max temp:500℃;控温精度:±1℃;转速:1-20rpm可调
  2. 2、直流溅射头:数量2” ×3  
  3. 3、真空腔体:尺寸:φ180mm × 150mm、材料高纯石英、全向透明、顶盖拆卸式
  4. 4、真空系统:机械泵旋片泵 ;抽气速率:旋片泵:1.1L/S;极限真空:10E-1Pa
        抽气/排气接口:KF16; 真空测量:电阻规;
  5. 5、电源配置:直流电源 ×1;max输出功率:150W
产品规格
尺寸360mm × 300mm × 470mm;重量30kg ;供电电压:AC220V,50Hz;功率800W

1.镀膜仪配有通气接口,可通入保护性气体,若客户需要通入混合气体,联系工作人员自行配置高精度质量流量计以满足实验需要。

2.本镀膜仪标配为双极旋片真空泵,其具有体积小,抽真空快,操作简单的优势,若客户有进一步提升真空度的需要,可以联系技术人员选配分子泵组组成高真空系统。



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