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产品详情
简单介绍：
本型号等离子溅射仪，采用二级溅射方式，广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验，本设备配备换位自转式样品台，用户可以在触控屏上实现一键换位，样品台可在两个靶位自由切换，本设备体积小巧造型美观功能强大，是实验室镀膜试验的*佳选择
详情介绍：
本型号等离子溅射仪，采用二级溅射方式，广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。采用低温等离子体溅射工艺，镀膜过程中无高温，不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统，全部触摸屏操作，便于学习使用。本设备配备换位自转式样品台，用户可以在触控屏上实现一键换位，样品台可在两个靶位自由切换，到位后样品台还可进行自转，以增强镀膜的均匀性。另外客户可以选配晶振式膜厚仪对膜厚进行监测，以提高镀膜的精准度。
本设备体积小巧造型美观功能强大，是实验室镀膜试验的*佳选择。
离子溅射仪技术参数：
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项目 |
明细 |
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产品型号 |
CY-PSP180G-1TA-SWR（switch换位rotate旋转） |
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样品台 |
直径φ60mm， 可在两个靶位间自动切换 |
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直流溅射头 |
2”x1 |
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腔体材质 |
高纯石英 |
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腔体尺寸 |
φ180mm X 150mm |
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真空泵 |
旋片泵 |
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极限真空 |
1.0E-1Pa |
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真空接口 |
KF16真空法兰 |
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进气口 |
φ6.35卡套接头 |
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供电电源 |
AC 220V 50Hz |
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整机功率 |
1.5KW/2KW（旋转加热） |
