产品详情
  • 产品名称:双靶等离子溅射镀膜仪(增强版)

  • 产品型号:TN-PSP180G-2TA-RSH
  • 产品厂商:泰诺
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简单介绍:
双靶等离子溅射镀膜仪(增强版)配有旋转可加热的样品台,不仅有效的提升镀膜的均匀性​而且更具有附着力。该双靶等离子溅射镀膜仪(增强版)用于金属溅射镀膜,尤其适合金银铜等贵金属的镀膜
详情介绍:

TN-PSP180G-2TA-RSH 小型双靶等离子溅射镀膜仪(增强版-旋转旋转可加热样品台)是我公司自主研发的一款高性价比等离子溅射镀膜设备,具有结构紧凑,简单易用,集成度高。样品台旋转可加热不仅提高镀膜均匀性,而且更具附着力。等离子溅射靶为2英寸的标准尺寸,客户可以根据需要选择1~3个靶的不同配置,以满足镀单层膜或者多种材料多层膜的不同实验需求。仪器所配电源为150W直流高压电源,可用于金属溅射镀膜,尤其适合金银铜等贵金属的镀膜。


产品名称
小型双靶等离子溅射镀膜仪(增强版-旋转可加热样品台)
产品型号
TN-PSP180G-2TA-RSH
主要特点
  • 自主研发、高性价比
  • 具有结构紧凑,简单操作
  • 样品台旋转可加热,均匀性好附着力强
  • 150W直流高压电源,金属溅射镀膜
技术参数
  1. 1、旋转样品台:尺寸φ100mm;转速:1-20rpm可调,加热温度500℃,PID控温 精度 +-1℃
  2. 2、直流溅射头:数量2” ×2  
  3. 3、真空腔体:尺寸:φ180mm × 210mm、材料高纯石英、全向透明、顶盖拆卸式
  4. 4、真空系统:双极旋片真空泵抽气速率:旋片泵:1.1L/S;极限真空:≥0.1Pa
        抽气/排气接口:KF16; 真空测量:电阻规;
  5. 5、溅射电源配置:直流电源 ×1;max输出功率:150W,溅射电压1200V,*大溅射电流50mA
产品规格
尺寸500mm × 320mm × 470mm;重量30kg ;供电电压:AC220V,50Hz;功率2000W

1. 镀膜仪配有通气接口,可通入保护性气体,若客户需通入混合气体,可联系工作人员自行配置高精度质量流量计以满足实验需要。

2.本镀膜仪标配为双极旋片真空泵,其具有体积小,抽真空快,操作简单的优势,若客户有进一步提升真空度的需要,可以联系技术人员选配分子泵组组成高真空系统。


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