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  • 产品名称：双靶等离子溅射镀膜仪（基础版）

  • 产品型号：TN-PSP180G-2TA
  • 产品厂商：泰诺
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简单介绍：
双靶等离子溅射镀膜仪（基础版）我公司自主研发的一款高性价比等离子溅射镀膜设备，具有结构紧凑，简单易用。双靶等离子溅射镀膜仪（基础版）的溅射靶为2英寸的标准尺寸，标准配置2个溅射靶头，以满足客户镀不同膜的实验需求。
详情介绍：
TN-PSP180G-2TA 双靶等离子溅射镀膜仪（基础版）我公司自主研发的一款高性价比等离子溅射镀膜设备，具有结构紧凑，简单易用，集成度高，设计感强的优势。等离子溅射靶为2英寸的标准尺寸，标准配置2个溅射靶头，以满足客户镀不同膜的实验需求。仪器所配电源为150W直流高压电源，可用于金属溅射镀膜，尤其适合金银铜等贵金属的镀膜。


产品名称
双靶等离子溅射镀膜仪-基础版
产品型号
TN-PSP180G-2TA
主要特点
  • 自主研发、高性价比
  • 具有结构紧凑，简单操作
  • 两只2英寸标准尺寸等离子溅射靶，
  • 150W直流高压电源，金属溅射镀膜
技术参数
  1. 1、样品台：尺寸φ100mm；到靶面的距离20~35mm可调
  2. 2、直流溅射头：数量2” ×2  
  3. 3、真空腔体：尺寸：φ180mm × 210mm、材料高纯石英、全向透明、顶盖拆卸式
  4. 4、真空系统：双极旋片真空泵 ；抽气速率：旋片泵：1.1L/S；极限真空：≥0.1Pa
    抽气/排气接口：KF16； 真空测量：电阻规；
  5. 5、溅射电源配置：直流电源 ×1；  max输出功率:150W,溅射电压1200V,*大溅射电流50mA
产品规格
尺寸：500mm ×320mm × 470mm；重量：30kg；供电电压：AC220V,50Hz；功率1500W

1.镀膜仪配有通气接口，可通入保护性气体，若客户需要通入混合气体，联系工作人员自行配置高精度质量流量计以满足实验需要。

2.本镀膜仪标配为双极旋片真空泵，其具有体积小，抽真空快，操作简单的优势，若客户有进一步提升真空度的需要，联系技术人员选配分子泵组组成高真空系统。


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