产品详情
  • 产品名称:三靶等离子镀膜仪

  • 产品型号:TN-VTC16-3HD
  • 产品厂商:泰诺
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍:
三靶等离子镀膜仪是我公司研发的实验室用小型镀膜仪(直流普通型),可节省空间;采用了触摸屏模式的控制面板,操作更加简单便捷,放置样品的直径为50mm,加热温度可达500℃。CY-VTC16-3HD三靶等离子镀膜仪可溅射Au、Ag、Cu等多种靶材,并且样品台可以旋转,能够一次在同一样品上涂覆三层薄膜。
详情介绍:

产品介绍

这款三靶等离子镀膜仪是我公司研发的实验室用小型镀膜仪(直流普通型),可节省空间;采用了触摸屏模式的控制面板,操作更加简单便捷,放置样品的直径为50mm,加热温度可达500℃。CY-VTC16-3HD三靶等离子镀膜仪可溅射Au、Ag、Cu等多种靶材,并且样品台可以旋转,能够一次在同一样品上涂覆三层薄膜。

适用范围

用于实验室样品镀膜


○ 产品特点

1:PLC触摸屏控制面板,7英寸触摸屏,PID控温方式。

2:真空度、电流、靶材位置、基片加热温度均可控制。

3:可以通过KF25快接法兰与真空泵、不锈钢波纹管连接。

4:此款等离子溅射镀膜仪已通过CE认证。


○ 技术参数

产品型号

TN-VTC16-3HD

外形尺寸

360×350×360mm

重量

50kg

电源

220V 50Hz

输入功率

2000W(含真空泵)

输出电压

1600V DC

输出电流

50mA(Max电流)

镀膜腔尺寸

Φ160×120mm

样品台尺寸

Φ50mm(可选购加热型样品台,温度可高达500℃,*长溅射时间不可超过5分钟)

真空泵

120L/M旋片式真空泵

进气口

装有精密可调针阀,得以方便的调节进气量

靶材尺寸

Φ47mm,厚度0.5~3mm

靶材材质

可选AuAgPtCrNi

可选配件

1KF25快接法兰

2:不锈钢波纹管(600mm

3:旋片式真空泵

4PtAgZn等多种高纯度金属靶材

5:加热样品台

包装

三合板木质包装


○ 免责声明

本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等),仅供参考。泰诺公司产品在不断更新,网站内容可能由于更新不及时,或许导致所述内容与实际情况存在一定的差异,请与本公司销售人员联系确认。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,泰诺公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知。