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  • 产品名称：小型单靶等离子溅射镀膜仪

  • 产品型号：TN-PSP180G-TA
  • 产品厂商：泰诺
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简单介绍：
小型单靶等离子溅射镀膜仪是我公司研发的实验室用小型镀膜仪（基础型），PLC控制系统，全部触摸屏操作操作简单便捷，小型单靶等离子溅射镀膜仪可溅射Au、Ag、Cu，广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。
详情介绍：

○ 产品介绍

TN-PSP180G-TA小型单靶等离子溅射镀膜仪采用二级溅射方式，低温等离子体溅射工艺，镀膜过程中无高温，不易产生热损伤。该小型等离子溅射仪使用PLC控制系统，全部触摸屏操作，便于学习使用。 

○ 适用范围

广泛用于SEM样品制备或金属镀膜试验。

○ 产品特点

1：二级低温等离子体溅射工艺

2：PLC控制系统，全部触摸屏操作。

3：体积小巧造型美观。

○ 技术参数

产品型号

TN-PSP180G-TA

外形尺寸

500×320×470mm

重量

30kg

电源

220V 50Hz

输入功率

1500W（含真空泵）

输出电压

1200V DC

输出电流

50mA（Max电流）

镀膜腔尺寸

Φ180×210mm

样品台尺寸

Φ100mm

可选购加热型样品台，温度可高达500℃，*长溅射时间不可超过5分钟

真空泵

双极旋片真空泵，1.1L/s（4m3/h）

进气口

装有精密可调针阀，得以方便的调节进气量

靶材尺寸

Φ50mm，厚度0.5~3mm

靶材材质

可选Au、Ag、Pt、Cr、Ni

包装

三合板木质包装

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