0371-5536 5392 0371-5519 9322
卷对卷式PECVD是等离子增强型化学气相沉积设备（PECVD），并加装了收放卷装置。本设备可用于线材的连续化热处理工艺中，如碳纤维制备、合金及其他材料线材改性处理等应用中。也适合用于石墨烯在卷材上的连续生长。
设备含卷对卷收放卷运动模块、1200℃双温区可开启式管式炉模块、PE等离子增强模块、真空系统以及三路质子流量计供气系统五部分，整套体系可在真空/气氛保护环境下工作。收放卷机构转速从1~400mm/min可调,机构采用反馈调节，可自动纠正转速偏差，保证样品的速度稳定不走样，从而保证了实验的准确性
卷对卷式PECVD技术参数：
|
1200℃ 双温区管式炉 |
供电电压 |
AC220V，50Hz |
|
*大功率 |
3KW |
|
|
加热温区 |
双温区 200mm+200mm |
|
|
工作温度 |
≤1200℃ |
|
|
控温精度 |
±1℃ |
|
|
控温方式 |
AI-PID 30段工艺曲线，可存储多条 |
|
|
炉管材质 |
高纯石英 |
|
|
炉管尺寸 |
φ80mm I.D x 1400mm L |
|
|
密封方式 |
不锈钢真空法兰 |
|
|
真空测量 |
电阻规 |
|
|
工作气体 |
氢气、氮气、氩气、氧气等非腐蚀性气体 |
|
|
真空泵 |
双极旋片式真空泵 |
|
|
极限真空度 |
10^-1Pa |
|
|
三路质量流量计 |
阀门类型 |
不锈钢针阀 |
|
气路数量 |
三路 |
|
|
承压范围 |
0.05~0.3MPa |
|
|
量程 |
1~100 SCCM（Ar） 1~200 SCCM（H2） 1~500 SCCM (CH4) |
|
|
流量控制范围 |
±1.5% |
|
|
混气罐容积 |
750mL |
|
|
气路材料 |
304不锈钢 |
|
|
管道接口 |
6.35mm卡套接头 |
|
|
供电电源 |
AC220V 50Hz |
|
|
S射频电源 |
输出功率 |
500W |
|
输出精度 |
±1% |
|
|
射频频率 |
13.56MHz |
|
|
射频稳定度 |
±0.005% |
|
|
冷却方式 |
风冷 |
