产品名称：晶圆级大尺寸二硫化钼制备装置

○ 产品介绍

晶圆级大尺寸二硫化钼制备装置
本设备为基于CVD原理设计的晶圆级大尺寸二硫化钼制备装置。包括三温区管式炉，特殊设计的炉管及配套气路一组。该设备通过特殊设计的管路，能够将反应气体均匀的释放于炉管，确保后端晶圆上的产物的一致性和均匀性。是二硫化钼制备实验的不二之选

○ 技术参数    

炉管材质	高纯石英
炉管规格	外部大石英管  φ120mm x1000mm 内部小石英管  φ25mm x820mm x7根
加热温区	三温区 200mm+200mm+200mm
控温	三温区独立控温，每个温区均可设置30段时间温度曲线 精度 ±1℃
工作温度	0~1150℃
升温速率	≤10℃/min
进气系统	三路质量流量计 Ar气 0~500sccm，N2气 0~200sccm，H2气 0~200sccm 配有七路分气、混气气路及混气灌。
炉管法兰	不锈钢水冷法兰，配有KF16真空接口，机械式真空计及不锈钢针阀
供电要求	AC 220V 50Hz  4kW
控制方式	7英寸触控屏
真空泵	双极旋片真空泵
真空度	理论极限真空度10^-1Pa

○ 免责声明

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